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寫真化學(xué)通過顯微圖像光譜測厚儀
  • 寫真化學(xué)通過顯微圖像光譜測厚儀
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更新時(shí)間：2024-11-02 16:24:37

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寫真化學(xué)通過顯微圖像光譜測厚儀

由于薄膜厚度是通過光學(xué)干涉法計(jì)算的，因此
薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式顯示。



    • 在顯微鏡視場中測量任意區(qū)域的薄膜厚度和薄膜質(zhì)量分布
      ，并以 3D 形式顯示分布

    • 薄膜厚度分布的原位可視化



    • 分辨率與可見光波長光學(xué)涂層測厚儀相當(dāng)

    • 波長范圍從 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量

    • 膜厚測量分辨率：0.1 nm 或更小



    • 使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計(jì)算引擎進(jìn)行并行計(jì)算

    • 高速、多層同時(shí)測量 9 層

    • 應(yīng)用實(shí)例

    1. （1） 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜和溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu)

    2. （2） 用 EMA（有效介質(zhì)近似）法估計(jì)亞微米圖案的密度

    3. （3） 局部結(jié)晶度評估


    • 您可以根據(jù)工件和應(yīng)用選擇物鏡

    • 通過物鏡和面積規(guī)格測量任意面積的膜厚分布


    設(shè)備配置

    設(shè)備配置


    圖像測量方法的優(yōu)勢

    圖像測量方法的優(yōu)勢

    測量目標(biāo)

    • 半導(dǎo)體
      半導(dǎo)體

    • 太陽能電池
      太陽能電池

    • 平板顯示器
      平板顯示器

    • 玻璃（涂層）和薄膜
      玻璃（涂層）和
      薄膜

    薄膜干涉原理

    薄膜干涉原理

    膜厚測量的原理

    膜厚測量的原理




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