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用 EMA有效介質(zhì)近似法測厚儀
  • 用 EMA有效介質(zhì)近似法測厚儀
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更新時(shí)間：2024-11-02 16:29:53

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用 EMA有效介質(zhì)近似法測厚儀


    • 在顯微鏡視場中測量任意區(qū)域的薄膜厚度和薄膜質(zhì)量分布
      ，并以 3D 形式顯示分布

    • 薄膜厚度分布的原位可視化



    • 分辨率與可見光波長光學(xué)涂層測厚儀相當(dāng)

    • 波長范圍從 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量

    • 膜厚測量分辨率：0.1 nm 或更小



    • 使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計(jì)算引擎進(jìn)行并行計(jì)算

    • 高速、多層同時(shí)測量 9 層

    • 應(yīng)用實(shí)例

    1. （1） 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜和溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu)

    2. （2） 用 EMA（有效介質(zhì)近似）法估計(jì)亞微米圖案的密度

    3. （3） 局部結(jié)晶度評估


    • 您可以根據(jù)工件和應(yīng)用選擇物鏡

    • 通過物鏡和面積規(guī)格測量任意面積的膜厚分布


    1730535172552.jpg

    這是一種可以通過顯微圖像光譜可視化透明多層膜的膜厚分布的膜厚計(jì)。
    由于薄膜厚度是通過光學(xué)干涉法計(jì)算的，因此
    薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式顯示。

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