產(chǎn)品型號(hào)

PCE-6 小型等離子清洗機(jī)

     主要特點(diǎn)

1、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。

2 、時(shí)間、功率、 真空度等信息顯示在一組 4 位數(shù)碼管上。

3 、設(shè)有一個(gè)三通閥， 可精確控制進(jìn)氣流量， 以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為 6mm 卡套 接口。

4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC220V    50/60Hz

2、輸出功率： 7.2W 、10.2W 、29.6W

3、真空泵功率： <500W

4、總功率： <600W

5、射頻頻率： 3.0MHz ，功率 3 檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)

6 、等離子腔體： 高純石英腔體， Ø160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭 上設(shè)有 Ø45mm 的觀察窗

7、真空泵： 240L/min，直連式雙旋真空泵

8、極限真空度： 50mtorr

9 、通入氣體： 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子， 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合氣體等（根 據(jù)材料性質(zhì)選定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 400mm×300mm×300mm，重量： 10.2kg

可選配件

1 、2"-6"石英舟（盛放基片）

2 、2-4 通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)