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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

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更新時(shí)間:2024-03-12 09:47:12瀏覽次數(shù):532

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成

詳細(xì)介紹


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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng), 主要由射頻發(fā) 生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒(méi)有真空條件的環(huán)境下活化和清理材料(如單晶 片、光學(xué)元件、塑料等) 表面雜質(zhì), 且清理速度迅速。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層進(jìn)行預(yù) 先表面處理的合適的工具選擇。 GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀具有一個(gè)樣品臺(tái), 將樣品固定在樣品 臺(tái)上后可進(jìn)行 X、YZ 三個(gè)方向上一定范圍內(nèi)的連續(xù)移動(dòng)清洗,且清洗過(guò)程中離子束不會(huì)發(fā)生抖動(dòng),清理 后的樣品表面質(zhì)量均勻。




產(chǎn)品名稱(chēng)

GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-PJF-A

主要特點(diǎn)

1、高速清理物件表面,操作簡(jiǎn)單、安 全。


2、無(wú)需真空和腔室環(huán)境。


3、小巧實(shí)用、成本低。


4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。


5 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源: 110/220V    50Hz/60Hz    <1000W


2、輸出頻率: 20KHz-23KHz


3、離子束頭: 圓頭 10mm-12mm ,矩形頭 15mm-18mm


4、輸入氣壓: 0.275MPamin





5、工作氣氛:空氣、氮?dú)?、氬氣、混合氣體,但不要使用易燃易爆氣體


6、等離子工作壓力: 0.048MPa-0.068MPa


7、工作環(huán)境:溫度<42℃,濕度≤40%RH


8、工作臺(tái):自動(dòng)控制三維工作臺(tái), X 、Y 軸電動(dòng)調(diào)節(jié), Z 軸手動(dòng)調(diào)節(jié)


9、真空吸盤(pán): ?100mm


10 X 軸行程: 200mm


11 、Y 軸行程: 100mm


12 、Z 軸行程: 50mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 600mm×600mm×1250mm;重量: 55kg


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