產(chǎn)品型號

1200℃雙溫立式爐 OTF-1200X-4-VT-II

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣：如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重100kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體結(jié)構(gòu)，帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、采用高純氧化鋁作為爐膛材料，其表面涂有美國進(jìn)口 1750℃氧化鋁涂層， 可以提高加熱效 率，同時(shí)延長使用壽命。

4 、采用 PID 方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，可設(shè)置30 段升降溫程序。

5、爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭、真空計(jì)、閥門。

6、上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾，用于懸掛樣品。

7、國家，并已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 208V-240V    50Hz/60Hz

2、功率： 3KW

3、石英管：外徑 Ø100mm ，內(nèi)徑 Ø95mm ，長 1000mm

4、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯，可延長期使用壽命

5、加熱區(qū)域：總長 400mm ，溫區(qū) I 為 200mm ，溫區(qū) II 為 200mm （兩個(gè)溫區(qū)可設(shè)置同樣的溫 度）

6、恒溫區(qū)域：300mm

7、工作溫度：每個(gè)溫區(qū) 1200℃（<1h），連續(xù)工作 1100℃

8、加熱速率：≤20℃/min

9、控溫精度：± 1℃

10、熱電偶：K 型熱電偶進(jìn)行測溫

11、真空度：10-2torr （機(jī)械泵），10-5torr  （分子泵）

12、漏氣率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：不含移動架 550mm×380mm×520mm ，含移動架 600mm×600mm×1200mm

重量：80kg （不含移動架）

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

3 、KF25 轉(zhuǎn)接頭（可增加抽氣速率，獲得較高的真空）

4 、VCR 雙卡套接頭（可工作在惰性氣體或還原氣體條件下）

5、高溫絲（摻鉬鐵鉻鋁，可達(dá) 1100℃）

注意事項(xiàng)

1 、爐管內(nèi)的正壓不可高于0.02Mpa。

2、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。建議在本司選購減壓閥。本司減壓閥量程為 0.01Mpa-0.1Mpa，使用時(shí)會更加精確安全。

3、當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí)， 爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)， 爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

4 、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

5、石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。

6、對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對 樣品加熱， 則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣 閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。

質(zhì)量認(rèn)證

1 、CE 認(rèn)證。

2、所有電器元件（>24V）都通過 UL 、MET 、CSA 認(rèn)證。

3、若用戶承擔(dān)認(rèn)證費(fèi)用， 本司保證單臺設(shè)備通過德國 TIV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證。

樣品淬火