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產品簡介
詳細介紹
產品簡介： GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀， 特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜 （如 Ti 、Al 、Au 等） 和小分子的有機物。 本機設有 4 個蒸鍍加熱舟， 每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍， 加 熱舟上方有一個可旋轉擋板， 當其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住， 以防蒸鍍材料之間 相互污染。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜， 可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研 究要求，是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設備。GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有 5 個水冷 電極， 在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化， 進而損壞電極。該機采用金屬腔室， 具 有的真空度，真空度可達到 5.0×10-7torr ，樣品臺可對樣品進行加熱，加熱溫度為室溫-500℃ ，是進行 高真空蒸發(fā)鍍膜的設備。
產品名稱 | GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀 |
產品型號 | GSL-1800X-ZF4 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、工作臺：落地式， 占地面積 2m2 以上。 |
4、通風裝置：需要 | |
主要特點 | 1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。 2、采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。 3、真空腔體設有 1 個 KF40 旁抽閥（直接與前級機械泵相連，提高效率）、 1 個 CF150 閘板閥 |
（直接與分子泵相連） 、1 個 KF16 法蘭（安裝電阻規(guī)） 、6 個 CF35 法蘭（ 1 個安裝電離規(guī)， 1 個安裝 2 芯電極， 1 個安裝膜厚儀） 3 個備用。 4、在腔體底部配有 5 個水冷電極， 可支持 4 個蒸鍍加熱舟。 | |
5、樣品臺安裝在腔體的頂部。 6、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀， 膜厚測量分辨率（鋁） 為0.1?。 7、可使用循環(huán)水冷機。 | |
技術參數 | 1、輸入： 單相 AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW （不含真空泵） 2、蒸發(fā)輸出： 電壓 AC 0-8V 連續(xù)可調，極限蒸發(fā)電流 200A，極限蒸發(fā)功率<1.6KW |
3、真空腔： ?300mm （內徑）× 400mm，不銹鋼，內壁經電拋光處理 4、觀察窗： ?100mm，采用專用密封圈密封 5、真空泵：高抽速渦輪分子泵， 抽速600L/s 6、真空度： 8.0x10-4Pa | |
7、極限真空 8.0x10-5Pa 8、漏率： 6.7×10-8Pa ·L/S 9、樣品臺：φ 120 10、蒸發(fā)舟與樣品臺間距： 150-210mm 11、冷卻水需量： 15L/min | |
產品規(guī)格 | 尺寸： 900mm×1100mm×1800mm；重量： 230kg |