產(chǎn)品型號(hào)

PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

1、采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。

2 、可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。

3 、清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。

4 、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

5、清洗過程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌。

6 、樣品臺(tái)可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。

7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、 微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

1 、電壓： AC220V    10A

2、消耗功率： <500W  （包括真空泵）

3 、RF 電源： 輸出功率 100W ，輸出頻率 13.56MHz

4、腔體： ?190mm×98mm

5、石英管： ?180mm×55mm ，壁厚 7mm

6、內(nèi)腔： ?165mm×55mm

7、清洗電極： ?120mm

8、樣品臺(tái)： ?150mm ，有效尺寸 ?140mm

9、樣品臺(tái)與電極間距： 15mm-50mm 可調(diào)

10、抽氣管： ?12mm

11、極限真空度： 0.1Pa

12、工作真空度： 60Pa-500Pa

13、氣路數(shù)量： 2 路（選裝）

14、流量控制器數(shù)量： 1 、2

15、流量顯示儀： 2 通道

16、氣路接口： ?6mm

17、加熱樣品臺(tái)： ?140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝）

18、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa

19、工作環(huán)境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80%  （相對(duì)濕度）不結(jié)露， 海拔高度 0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 245mm×235mm×460mm  （不含真空泵），重量： 20kg  （不含真空泵）

可選配置

1、加熱樣品臺(tái)

2、流量控制器（量程 10 、50 、100 ，最多可增加 2 個(gè)通道）