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當前位置:深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> L88SS日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列
產(chǎn)品型號L88SS
品 牌其他品牌
廠商性質經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-09 07:26:56瀏覽次數(shù):165次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 3千-6千 |
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應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS 特點介紹
L88系列是針對半導體制造氣體B2H6而設計的二級減壓結構的產(chǎn)品。
作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施,中間壓力為3MPa,調節(jié)閥結構為平密封型,采用PCTF調節(jié)閥座,抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。
功能高壓
焊接規(guī)范金屬墊片配件調節(jié)閥結構平密封式散裝氣體兼容氣體7 種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體
有毒氣體以外的氣體 純
氣體設備標準流量~60NL/分鐘
日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS 規(guī)格參數(shù)
源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調節(jié)壓力變化量0.00075MPa
承受壓力 22.2MPa(進口側)
CV值 0.08
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內(nèi)部容積 12.58cm(不含3個壓力表及接頭)
大量的 約2.4公斤
1/4" 面對面密封接頭尺寸(公頭)…約 88mm
1/4" 面對面密封接頭尺寸(母頭)…約 105mm
[備注]
■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。
■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內(nèi)螺紋)組合如圖所示??梢詮囊韵滤镜漠a(chǎn)品型號代碼表中進行選擇。
■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。
產(chǎn)品編號代碼
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