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目錄:蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司>>流量計>>氣體質(zhì)量流量控制器>> MFC300-03D氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器
  • 氣體質(zhì)量流量控制器
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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 愛拓利
  • 型號 MFC300-03D
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 蘇州市
屬性

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更新時間：2024-12-31 16:27:14瀏覽次數(shù)：95評價

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。


MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體質(zhì)量流量控制器
MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器工作原理


產(chǎn)品特點

超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置


主要參數(shù)
  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
  • 量程
    0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. （1:500）
  • 準(zhǔn)確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
  • 傳感器響應(yīng)時間
    5ms
  • 控制響應(yīng)時間
    300ms
  • 預(yù)熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式
  • 泄漏率
    1*10-11Pa.m3/sec He



機械特性
  • 最大工作壓力
    1.1 MPa（11bar）
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    0-65℃（環(huán)境和氣體）
  • 溫度范圍
    0 - 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    快插、快擰、卡套、VCR（可選）
  • 氣體接觸材質(zhì)
    氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
  • 密封材質(zhì)
    氟橡膠 FKM
  • 防護等級
    IP40
  • 安裝方式
    任意方向安裝
  • 固定孔
    M4 ↓ 5mm
  • 重量
    0.38kg



電氣和通訊
  • 電氣連接接口類型
    DB-9 male
  • 輸入輸出阻抗
    輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<600Ω
  • 數(shù)字信號
    Modbus RTU（RS232，RS485），CAN
  • 量程
    0-2，10，20，30，100，300，500sccm
    0-1，2，5，10，20，30slpm
  • 通信速率
    9600（默認），14400，19200，38400 bps（用戶可修改）
  • 電源
    15-40 VDC，100 mA



特征
  • 標(biāo)況
    20℃，1 atm
  • 氣體選擇
    可選，具體參考說明書氣體系數(shù)
  • 軟件
    Aitoly分階流量軟件



尺寸
滿量程高款深度ABCDE重量
5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品選型
氣體質(zhì)量流量控制器




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