目錄:蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司>>流量計(jì)>>氣體質(zhì)量流量計(jì)>> MFM330微小氣體質(zhì)量流量計(jì)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,制藥/生物制藥 |
微小氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%-1 00% F.S.
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應(yīng)時(shí)間 <1s
預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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