常見(jiàn)的真空泵類型有旋片式真空泵、往復(fù)式真空泵、水環(huán)式真空泵、羅茨真空泵、螺桿式真空泵等，它們?cè)谑褂脠?chǎng)景上的區(qū)別如下：
旋片式真空泵
往復(fù)式真空泵
水環(huán)式真空泵
利用葉輪旋轉(zhuǎn)形成水環(huán)，通過(guò)水環(huán)與葉輪之間容積的變化來(lái)抽氣。可以抽除含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，工作過(guò)程中氣體不會(huì)被油污染，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行穩(wěn)定、操作維護(hù)方便等特點(diǎn)。
廣泛應(yīng)用于化工、制藥、造紙、食品等行業(yè)，尤其適用于需要在較高真空度下處理含有水蒸氣的氣體的場(chǎng)合，如真空蒸發(fā)、真空結(jié)晶等。但它的效率相對(duì)較低，能耗較高。
羅茨真空泵
由兩個(gè)同步旋轉(zhuǎn)的羅茨轉(zhuǎn)子組成，通過(guò)轉(zhuǎn)子間的間隙來(lái)輸送氣體，具有抽氣速率大、啟動(dòng)快、能在較低壓力下工作等優(yōu)點(diǎn)。
通常用于高真空系統(tǒng)中，作為前級(jí)泵與其他真空泵配合使用，以提高系統(tǒng)的抽氣速度和極限真空度，如在電子束焊、真空鍍膜等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。但它不能單獨(dú)在大氣壓下工作，需要與前級(jí)泵串聯(lián)使用。
螺桿式真空泵
利用一對(duì)螺桿在泵腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣，具有抽速大、真空度高、對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸氣不敏感等優(yōu)點(diǎn)，且運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低，維護(hù)成本低。
適用于對(duì)真空度要求較高、對(duì)氣體品質(zhì)要求較嚴(yán)格的場(chǎng)合，如半導(dǎo)體制造、制藥、化工等行業(yè)的真空工藝過(guò)程。尤其在處理含有一定量粉塵或水蒸氣的氣體時(shí)，具有明顯的優(yōu)勢(shì)
中級(jí)會(huì)員·2年
