HORIBA堀場(chǎng)微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

HORIBA堀場(chǎng)微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700uF

微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700uF（Micro Flow） 專為 ≤ 5SCCM 流量應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
≤ 5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中一直非常關(guān)鍵。
專用組件和新開發(fā)的內(nèi)部低流量標(biāo)準(zhǔn)可實(shí)現(xiàn)低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

• 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

• 精確的調(diào)諧氣體控制，增強(qiáng)工藝可調(diào)性

• ≤ 100ms 升壓響應(yīng)和 MFC 到 MFC 偏差控制

• 提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能

• 內(nèi)部流量計(jì)量

• 所有制造產(chǎn)品的性能可靠

• 狀態(tài)監(jiān)控功能

• 提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測(cè)

• PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性

• 堅(jiān)固耐用，顆粒風(fēng)險(xiǎn)更低，減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量