HORIBA堀場(chǎng) 玉科精選 超薄質(zhì)量流量模塊 返回列表頁

HORIBA堀場(chǎng) 玉科精選 超薄質(zhì)量流量模塊

HORIBA堀場(chǎng) 玉科精選 超薄質(zhì)量流量模塊

DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION™ 技術(shù)——用于層流粘性流范圍的差壓檢測(cè)系統(tǒng)。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)可以高精度地控制各種氣體的質(zhì)量流量。與 D500 一樣，用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應(yīng)用。MFC 的緊湊設(shè)計(jì)減少了內(nèi)部氣體流路的內(nèi)部體積，優(yōu)化的控制算法提高了響應(yīng)特性。它使用具有高處理能力的緊湊型 CPU，壓電驅(qū)動(dòng)電路和控制 CPU 安裝在 MFC 模塊中，而電源組件則安裝在單獨(dú)的小型控制箱中。通過使用專用的微型連接器連接，最多可以控制四個(gè) MFC 模塊。

特征

• 快速響應(yīng)（≦0.4 秒）

• 重量輕、緊湊（寬：10mm、高：99mm）

• 擴(kuò)大工作供氣壓力范圍