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北崎供應ULVAC愛發(fā)科WP-02傳感器真空規(guī)管
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真空泵真空泵
干泵LS系列
愛發(fā)科擁有品類十分齊全的干泵、油泵、低溫泵、分子泵等等，并提供各種泵的問題診斷和維修服務。
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真空計真空計
皮拉尼真空計 G-TRAN系列
包含了從大氣壓開始到真空為止測定的皮拉尼真空計。變送器型真空計是采用傳感器和計量回路一體設計（也有分離型），實現(xiàn)省裝置成本，省安裝空間，省配線的目的。
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真空搬送機械手ELEC-RZ
愛發(fā)科作為技術和經(jīng)驗豐富的真空器械廠家，愛發(fā)科的真空機械手是一種具有潔凈且信賴性高的搬送平臺。
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設備診斷系統(tǒng) FABISEQ
通過FABISEQ可采集工藝設備的數(shù)據(jù)，在軟件上進行圖表顯示。通過設備數(shù)據(jù)的可視化，可調查發(fā)生不良的原因和經(jīng)過，實現(xiàn)工藝安定性的觀察
