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EV-M 型 干式真空泵是節(jié)能、高負(fù)荷工藝的理想選擇 能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理 兼容高溫控制 節(jié)能 采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn) 耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng) 在不同頻率下具有相同的性能 (50/60 Hz) 油 提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
荏原 (EBARA) 高溫技術(shù)支持高負(fù)荷工藝,在半導(dǎo)體、液晶和太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物。 由于其高節(jié)能性能,可以處理高負(fù)載過(guò)程并同時(shí)節(jié)省能源。 標(biāo)配耐腐蝕材料,還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號(hào)。 憑借根據(jù)工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容,可以處理各種高負(fù)荷工藝。