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# 2025年新品發(fā)布會(huì)#
日期:2025年5月23日
時(shí)間:8:30-18:30
近期我司新推出升級(jí)了日本原裝Osaka Vacuum大阪真空TG1003油潤滑復(fù)合分子泵
耐腐蝕性氣體排出的化學(xué)類型 ■ 結(jié)構(gòu)可抵抗意外進(jìn)入大氣 ■ 耐外部沖擊 ■ 可進(jìn)行串行通信 ■ 安全標(biāo)準(zhǔn) NRTL/半 S2 用 ?半導(dǎo)體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?管材、光學(xué)元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā) * 對(duì)于清潔工藝,請(qǐng)選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
進(jìn)氣法蘭 | VG150 CF160 ISO-B160 標(biāo)準(zhǔn) | |
抽速 | N2 (升/秒) | 1000 |
N2(帶保護(hù)網(wǎng)) (升/秒) | 940 | |
H2 (升/秒) | 1000 | |
最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4×103 | |
極限壓力 | VG/ISO-B/CF (帕) | <1×10-6/< 1×10-7 |
VG?ISO-B/CF (托) | <7.5×10-9/< 7.5×10-10 | |
最大氣體流速※1 | N2 (SCCM) | 2715 |
啟動(dòng)時(shí)間 | (分鐘) | 9-12 |
停機(jī)時(shí)間 | (分鐘) | 9-13 |
允許的輔助壓力 | (Pa / Torr) | 300/2.3 |
推薦的輔助泵 | (升/分鐘) | 500 |
潤滑油量 | (毫升) | 260 |
安裝姿勢(shì) | 垂直 (±10°) | |
質(zhì)量 | (公斤) | 50 |
控制器類型 | TC1003 系列 |