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氣體質(zhì)量流量控制器WGL-3180（模擬）是熱式質(zhì)量流量計(jì)。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡(jiǎn)稱MFC）可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

氣體質(zhì)量流量控制器WGL-3180（模擬）是熱式質(zhì)量流量計(jì)。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡(jiǎn)稱MFC）可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制；應(yīng)用領(lǐng)域：小流量，適用于真空、分析儀器、等行業(yè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)（優(yōu)勢(shì)）：

本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn)，安裝方便，無(wú)安裝位置和直管段要求，操作簡(jiǎn)單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過(guò)模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱：	氣體質(zhì)量流量控制器WGL-3180（模擬）
基本型號(hào)	WGL-3180	WGL-3180M
流量規(guī)格①(N2標(biāo)定)	0~10,50,100,500 SCCM 0~1,5,10SLM
調(diào)節(jié)閥類(lèi)型	常閉式	無(wú)
量程比	(2~100)%F.S.或50:1
流量分辨率	0.1%F.S.
準(zhǔn)確度	±1.5%F.S.
重復(fù)精度	±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤2sec	≤1sec
工作壓差范圍	0.1～0.3MPa(≤10SLM)	＜1MPa
最大耐壓	1MPa
工作環(huán)境溫度	5~45℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號(hào)	0～+5.00V（輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)	0～+5.00V（無(wú)輸入信號(hào)，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求	+15VDC(50mA)，-15VDC(200mA)	+15VDC(50mA),-15VDC(50mA)
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率	≤1×10-8Pa·m3/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料
密封材料	氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM
管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4"
	雙卡套型接頭：1/4"、1/8" 或 φ6、φ3 mm
凈重量	0.88kg	0.72kg
注1；滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM~10SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。