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日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- 產(chǎn)品型號
- OTSUKA/日本大塚 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：48更新時間：2025-02-22 10:11:01
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
采用線掃描方式檢測整面薄膜 硬件軟件均為創(chuàng)新設計 作為專業(yè)膜厚測定廠商，提供多種支援 實現(xiàn)高精度測量實現(xiàn)高速測量 不受偏差影響 可對應寬幅樣...
產(chǎn)品介紹
日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息
特點
● 可在紫外和可見（250至800nm）波長區(qū)域中測量橢圓參數(shù)
● 可分析納米級多層薄膜的厚度
● 可以通過超過400ch的多通道光譜快速測量Ellipso光譜
● 通過可變反射角測量，可詳細分析薄膜
● 通過創(chuàng)建光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫和追加菜單注冊功能，增強操作便利性
● 通過層膜貼合分析的光學常數(shù)測量可控制膜厚度/膜質(zhì)量
測量項目
測量橢圓參數(shù)（TANψ，COSΔ）
光學常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
薄膜厚度分析
用途
半導體晶圓
柵氧化膜，氮化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe，BPSG，TiN
光學常數(shù)（波長色散）
復合半導體
AlxGa（1-x）多層膜、非晶硅
FPD
取向膜
等離子顯示器用ITO、MgO等
各種新材料
DLC（類金剛石碳）、超導薄膜、磁頭薄膜
光學薄膜
TiO2，SiO2多層膜、防反射膜、反射膜
光刻領(lǐng)域
g線（436nm）、h線（405nm）、i線（365nm）和KrF（248nm）等波長的n、k評估
原理
包括s波和p波的線性偏振光入射到樣品上，對于反射光的橢圓偏振光進行測量。s波和p波的位相和振幅獨立變化，可以得出比線性偏振光中兩種偏光的變換參數(shù)，即p波和S波的反射率的比tanψ相位差Δ。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | FE-5000 |
|---|---|
樣品尺寸 | 200x200毫米 |
入射（反射）的角度范圍 | 45至90° |
入射點直徑*2 | 關(guān)于φ1.2sup*3 |
測定波長范圍*5 | 250至800納米 |
平臺驅(qū)動方式 | 手動/自動 |
裝載機兼容 | 可 |
尺寸，重量 | 1300（W）×900（D）×1750（H）mm 約350公斤*7 |
*1可以驅(qū)動偏振器，可以分離不感帶有效的位相板。
*2取決于短軸角度。
*3對應微小點（可選）
*4它是使用VLSI標準SiO2膜（100nm）時的值。
*5可以在此波長范圍內(nèi)進行選擇。
*6光源因測量波長而異。
*7選擇自動平臺時的值。
測量示例
以梯度模型分析ITO結(jié)構(gòu)[FE-0006]
作為用于液晶顯示器等的透明電極材料ITO（氧化銦錫），在成膜后的退火處理（熱處理）可改善其導電性和色調(diào)。此時，氧氣狀態(tài)和結(jié)晶度也發(fā)生變化，但是這種變化相對于膜的厚度是逐漸變化的，不能將其視為具有光學均勻組成的單層膜。
以下介紹對于這種類型的ITO，通過使用梯度模型，從上界面和下界面的nk測量斜率。
考慮到表面粗糙度測量膜厚度值[FE-0008]
當樣品表面存在粗糙度（Roughness）時，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模擬為“粗糙層"，可以分析粗糙度和膜厚度。以下介紹了測量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。
使用非干涉層模型測量封裝的有機EL材料[FE-0011]
有機EL材料易受氧氣和水分的影響，并且在正常大氣條件下它們可能會發(fā)生變質(zhì)和損壞。因此，在成膜后立即用玻璃密封。以下介紹在密封狀態(tài)下通過玻璃測量膜厚度的情況。玻璃和中間空氣層使用非干涉層模型。
使用多點相同分析測量未知的超薄nk[FE-0014]
為了通過擬合最小二乘法來分析膜厚度值（d）需要材料nk。如果nk未知，則d和nk都被分析為可變參數(shù)。然而，在d為100nm或更小的超薄膜的情況下，d和nk是無法分離的，因此精度將降低并且將無法求出精確的d。在這種情況下，測量不同d的多個樣本，假設nk是相同的，并進行同時分析（多點相同分析），則可以高精度、精確地求出nk和d。
日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長-成都藤田科技提供
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