日本日東工器NITTO KOHKI 快速接頭 返回列表頁

日本日東工器NITTO KOHKI 快速接頭

SCF系列是日東工器為滿足半導(dǎo)體、平板顯示等制造業(yè)對(duì)高純凈度和高可靠性要求而專門設(shè)計(jì)的快速接頭。其性能體現(xiàn)在多個(gè)方面。

首先，在材料與潔凈度上，接頭主體通常采用 SUS316 不銹鋼，內(nèi)部密封件則使用高兼容性的EPDM或氟橡膠等材料，確保在與高純度化學(xué)品(如酸堿藥液、超純水)和各種高純工業(yè)燃?xì)?如氮?dú)?、氬氣、氧?接觸時(shí)，極有效地抑制金屬離子析出和顆粒物脫落，防止工藝流體受到污染，從而保障芯片制造良率。

其次，其“雙路開關(guān)閥"構(gòu)造是實(shí)現(xiàn)高性能的關(guān)鍵。在插拔過程中，接頭與母座連接時(shí)，兩側(cè)閥門同時(shí)打開，形成流暢通路:斷開時(shí)，兩側(cè)閥門瞬間自動(dòng)關(guān)閉，能同時(shí)有效密封兩端管路，實(shí)現(xiàn)零泄漏。這不僅極大提高了操作安全性，防止危險(xiǎn)化學(xué)品外泄，更重要的是能隔絕管路內(nèi)部與外界空氣的接觸，避免流體污染和氧化，并防止系統(tǒng)排空，維持管路內(nèi)穩(wěn)定的正壓或惰性氣體環(huán)境，這對(duì)于半導(dǎo)體濕法刻蝕、清洗CVD等關(guān)鍵工藝至關(guān)重要。

此外，該接頭操作非常簡(jiǎn)便，采用單手即可完成的直插式連接方式，“咔嗒"一聲即代表牢固鎖緊，極大提升了設(shè)備維護(hù)和更換效率。0.2 MPa的工作壓力范圍覆蓋了半導(dǎo)體工廠中大部分化學(xué)液輸送和氣體供給管路的工況需求。

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