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24次KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特點(diǎn)
抽氣速度快:最大抽氣速度可達(dá) 20,000L/min。能快速抽取氣體,可有效縮短抽氣時(shí)間,提高工作效率,適用于對(duì)真空環(huán)境建立速度要求高的工藝。
極限壓力低:極限壓力為 0.5Pa,可提供高真空度,滿足半導(dǎo)體制造、光學(xué)制造等對(duì)真空度要求苛刻的領(lǐng)域的需求。
耐腐蝕性強(qiáng):采用垂直螺桿和特殊材料,通過結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定,使其具有高耐腐蝕性,能適應(yīng)各種復(fù)雜的工藝流程和惡劣的工作環(huán)境,可應(yīng)用于有腐蝕性氣體的工藝中。
節(jié)能高效:屬于節(jié)能型產(chǎn)品,通過優(yōu)化參數(shù)和新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)了低功耗化。如 SDE120TX 功率僅為 1.5kW,在提供高抽氣性能的同時(shí),降低了能源消耗,有助于降低使用成本。
運(yùn)行穩(wěn)定可靠:樫山工業(yè)在真空技術(shù)研究方面經(jīng)驗(yàn)豐富,產(chǎn)品核心零部件采用高質(zhì)量材料制造,設(shè)備的立式螺絲結(jié)構(gòu)耐用,且對(duì)沉積物有較好的耐受性,能夠長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,減少故障發(fā)生頻率,提高設(shè)備的使用壽命。
電源適應(yīng)性廣:電源電壓為三相 AC200 - 220V、380 - 480V,50/60Hz,可適應(yīng)不同的供電環(huán)境,方便在不同地區(qū)和不同設(shè)備中使用。
工藝靈活性強(qiáng):支持氮?dú)獯祾吖δ埽獨(dú)饬髁靠稍?0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強(qiáng)了工藝靈活性,可滿足不同工藝需求。
產(chǎn)品兼容性好:支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作,可擴(kuò)展應(yīng)用場(chǎng)景,例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用,能更好地滿足不同用戶的多樣化需求。
小型化設(shè)計(jì):以 SDE120TX 為例,外形尺寸為 695×285×820mm,機(jī)身小巧,節(jié)省安裝空間,便于在空間有限的場(chǎng)所安裝和使用。
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