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HORIBA SEC-N100 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應(yīng)能力和強(qiáng)大的多氣體、多量程適應(yīng)能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。

核心特點(diǎn)

多氣體 / 多量程功能（Multi-Gas / Multi-Range）

• 支持多種氣體類型（N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、SF?、NF? 等）

• 滿量程流量可通過配置軟件快速切換，適應(yīng)不同工藝需求

• 用戶可靈活自定義氣體參數(shù)，無需更換設(shè)備

高精度控制

• 設(shè)定值 > 30% F.S.：精度為 ±1.0% of Set Point

• 設(shè)定值 ≤ 30% F.S.：精度為 ±0.3% of Full Scale

快速響應(yīng)

• 可變 PID 控制算法

• 1 秒內(nèi)達(dá)到設(shè)定值響應(yīng)（響應(yīng)時(shí)間 < 1s）

多種通信接口

• 模擬信號(hào)接口：0–5V、0–10V、4–20mA

• 數(shù)字通信接口：RS-485（F-NET）、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT

• 支持遠(yuǎn)程監(jiān)控、過程自動(dòng)化、工業(yè)集成

寬量程覆蓋

• 流量范圍從 10 SCCM 到 200 SLM，適配不同工藝設(shè)備

• 常見型號(hào)包括 SEC-N112MGM（模擬型）、SEC-N112MGR（RS-485型）

技術(shù)規(guī)格

• 測(cè)量原理：熱式質(zhì)量流量計(jì)（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：基于可變 PID 的閉環(huán)控制算法，實(shí)現(xiàn)快速穩(wěn)定的流量調(diào)節(jié)

• 適用氣體：支持多種腐蝕性和非腐蝕性氣體，如 N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、NF?、SF? 等（使用前需確認(rèn)氣體兼容性）

• 精度說明：

• 當(dāng)設(shè)定值大于 30% F.S. 時(shí)，精度為 ±1.0% of Set Point

• 當(dāng)設(shè)定值小于或等于 30% F.S. 時(shí)，精度為 ±0.3% of Full Scale

• 響應(yīng)時(shí)間：小于 1 秒，適應(yīng)工藝過程中的快速切換

• 流量范圍：從 10 SCCM 到 200 SLM，根據(jù)具體型號(hào)而定，適配多種應(yīng)用需求

• 通信接口：

• 模擬信號(hào)：0–5V、0–10V、4–20mA

• 數(shù)字通信：支持 RS-485（F-NET 協(xié)議）、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT 等主流工業(yè)協(xié)議

• 電源要求：

• 模擬型產(chǎn)品需 ±15V DC 供電

• 數(shù)字通信型產(chǎn)品需 24V DC 供電

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C，適用于潔凈室及標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)環(huán)境

• 設(shè)備尺寸：約 81.8 毫米（寬）× 30.5 毫米（厚）× 126 毫米（高）

• 產(chǎn)品重量：約 1.2 千克，結(jié)構(gòu)緊湊、便于集成

• 安裝方式：支持面板安裝或機(jī)架安裝，方便系統(tǒng)集成

• 產(chǎn)品認(rèn)證：符合 CE、RoHS 等國際標(biāo)準(zhǔn)（依據(jù)型號(hào)）

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體工藝氣體輸送系統(tǒng)

• 真空設(shè)備中的氣體注入控制

• 等離子體蝕刻與沉積設(shè)備

• 光伏太陽能電池制造

• OLED、LED、液晶顯示面板生產(chǎn)線