SL870026 主打高精度低流量監(jiān)測，量程 0-10L/min，精度達 ±0.2% FS，適用于醫(yī)療設備（如呼吸機氣體流量控制）、電子芯片制造（如晶圓清洗時惰性氣體流量監(jiān)測）的惰性氣體監(jiān)測場景。安裝采用微型螺紋接口（M12×1.25，精度 6H），需搭配精密流量調(diào)節(jié)閥（如針型閥），安裝位置需遠離振動源（如水泵、風機，振動頻率≤50Hz，振幅≤0.1mm），避免振動導致內(nèi)部熱式傳感元件與支架共振，影響熱平衡檢測，進而產(chǎn)生 ±0.5% 的精度偏差。供電支持 5-24V DC 寬電壓輸入（可適配電池供電或設備自帶電源），信號輸出為 4-20mA，可直接接入精密數(shù)據(jù)采集儀（如 Agilent 34970A），接線時需使用屏蔽線（屏蔽層接地），減少電磁干擾對低流量信號的影響。
操作核心是零點漂移修正：開機后需預熱 30 分鐘（讓傳感元件溫度穩(wěn)定，避免環(huán)境溫度變化導致漂移），在管道無氣流狀態(tài)下（關閉閥門后用流量計確認流量為 0），長按傳感器側(cè)面 “Cal" 鍵進入校準模式（指示燈閃爍），通過 “+"“-" 鍵將零點信號調(diào)至 4mA 標準值（可通過數(shù)據(jù)采集儀實時監(jiān)測輸出電流），調(diào)整后短按 “Save" 鍵保存。運行中需嚴格保持氣體清潔度，要求氣體含塵量≤0.1mg/m3（可在傳感器前端加裝精密過濾器，過濾精度 0.1μm），否則粉塵易附著在熱絲表面，形成隔熱層，導致檢測值比實際值偏高 5% 以上。故障處理方面，若出現(xiàn)信號波動（如電流在 4.2-4.5mA 間跳動，對應流量 0.5-0.75L/min），先使用萬用表測量電源電壓（波動需≤±0.5V，排除電源不穩(wěn)定問題），再用無塵棉簽蘸無水乙醇清潔傳感頭；若輸出信號恒為 20mA（對應 10L/min），可能為量程過載（需檢查閥門是否開度過大，或管道是否存在壓力驟升），降低流量至量程內(nèi)即可恢復。該傳感器體積小巧（直徑 25mm，長度 80mm），可集成到小型設備內(nèi)部，防護等級 IP64（可防飛濺液體，禁止浸泡），適合實驗室潔凈環(huán)境（潔凈度 Class 1000）使用，支持每年一次原廠校準服務，校準后可確保精度維持在 ±0.2% FS，滿足高精度場景需求。
