平行光露光裝置返回列表頁

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產(chǎn)品型號HTE-510-EHC

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地上海市

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更新時間：2025-10-22 09:57:53瀏覽次數(shù)：97次

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產(chǎn)品簡介

本裝置是以點光源超高壓汞燈為光源的準直鏡式平行光曝光裝置。主要結(jié)構(gòu)由光源部、吸附式曝光臺部、掩模部組成，曝光方式為接觸式和接近式曝光方式。為了曝光管理，還搭載了積分光量計，容易設(shè)定適當(dāng)?shù)钠毓饬?，是帶支架的緊湊設(shè)計的曝光裝置。

詳情介紹

工件尺寸：150mm x 150mm厚度約0.1~1.0 mm
光學(xué)性能：超高壓汞燈1kW（風(fēng)冷式），波長約300~470nm（主波長365,405,436 nm）
：紫外線照度約40mw/cm^2初始值（@365nm），照度分布90%以上光線平行度：準直半角≤1.5°，偏角≤1.0°
曝光快門：氣動快門打開/關(guān)閉方式
曝光量管理：基于積分光度計（管理波長365nm），具有20通道存儲功能
面具（基本）：玻璃面具□8英寸厚度3.0毫米或5.0毫米（可更改）
曝光臺：吸附式工作臺，前后可移動，內(nèi)置真空泵
上邊框類型：玻璃掩模專用邊框和聚酯薄膜邊框可供選擇
公用設(shè)施：電源3相200V 50/60Hz，斷路器開關(guān)30A，10.5 KVA：氣壓約0.5 Mpa
：排氣約8m^3/min
外形尺寸：(W)800mm x(D)1470mm x(H)1915mm