減壓干燥裝置 返回列表頁(yè)

 概述：
本裝置是一種在減壓腔室內(nèi)對(duì)涂覆光刻膠后的玻璃基板進(jìn)行減壓干燥的設(shè)備。
通過(guò)采用蝶形閥，可調(diào)節(jié)真空排氣能力。
壓 力 室 ： 外尺寸 400mm×400mm 高度 103mm（蓋閉時(shí)） 內(nèi)尺寸 350mm×350mm 高度 30mm
真空系統(tǒng) ： 真空度 1 Pa 以下（無(wú)負(fù)載時(shí)）
干式泵 250L/min
減壓方式：壓力模式 達(dá)到設(shè)定壓力后自動(dòng)釋放大氣
時(shí)間模式 達(dá)到設(shè)定時(shí)間后自動(dòng)釋放大氣
實(shí)用性：電源 3Φ AC200V
：干燥空氣 0.4~0.6 MPa
： 真空排氣、機(jī)架內(nèi)排氣
外形尺寸： (W)1000× (L)800 ㎜ × (H)1600 ㎜
設(shè)備重量： 約250Kg

上述項(xiàng)目可根據(jù)要求規(guī)格進(jìn)行定制服務(wù)