東京計(jì)裝TOKYOKEISO 液體流量計(jì) 精選

東京計(jì)裝TOKYOKEISO 液體流量計(jì) 精選

P-810

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流量測量設(shè)備

吹掃流量計(jì)

其他陣容

非常適合測量半導(dǎo)體制造工序中各種氣體的流量。采用周邊密封設(shè)計(jì)，可靠性高。廣泛應(yīng)用于各種設(shè)備。另有電解拋光、低泄漏的高品質(zhì)型號可供選擇。

目錄和手冊

P-810

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P系列

吹掃計(jì)的功能和選擇

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*由于產(chǎn)品改進(jìn)，所提供的信息可能會有所變更，恕不另行通知。

主要用途

半導(dǎo)體制造設(shè)備氣體

對于泄漏量很重要的管線

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

測量目標(biāo)

一般氣體

及液體（僅水當(dāng)量：密度1.0g/cm3、粘度1.0mPa?s）

口徑

Rc: 1/4" (標(biāo)準(zhǔn)), 1/8"

NPT: 1/4", 1/8"

SW: 1/4", 3/8"

VCR: 1/4", 3/8"

流量范圍

空氣：

最大 6 至 60 L/min（正常）

最小 5 至 50 mL/min（正常）

水：

最大 0.2 至 2 L/min

最小 5 至 50 mL/min

?流量范圍的換算方法請參考P型功能與選擇（TG-S0001）

流體溫度

最高120°C（根據(jù)包裝材料而變化）

流體壓力

最大0.8兆帕。

測量精度

±3% 滿量程

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代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗  watson沃森

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