東京計裝TOKYOKEISO 超潔凈流量計 

東京計裝TOKYOKEISO 超潔凈流量計

 P-772

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流量測量設(shè)備

吹掃流量計

其他陣容

這款全氟樹脂超潔凈吹掃流量計，接液部件甚至機械部件均未使用金屬，可有效防止在大氣中生銹等問題。它 采用PFA模制而成，并使用直接管連接接頭。非常適合測量半導(dǎo)體制造工藝中純水、超純水和化學(xué)液體等的流量。

目錄和手冊

P-772

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P系列

吹掃計的功能和選擇

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*由于產(chǎn)品改進，所提供的信息可能會有所變更，恕不另行通知。

主要用途

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線的超純水及純水用化學(xué)品。

*P-772-U（帶閥門）因其規(guī)格，屬于清單限制范圍（出口指令附表-3（2）-7）。 我們。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

測量目標(biāo)

所有液體

口徑

管端配件：（外徑）19毫米（內(nèi)徑）15.8毫米（標(biāo)準(zhǔn)）

Rc：1/2英寸，3/4英寸

NPT：1/2英寸，3/4英寸

流量范圍

水：

最大 4.5 至 45 升/分鐘

最小 0.06 至 0.6 升/分鐘

流體溫度

最高60℃ 高溫規(guī)格：最高可達(dá)90℃

流體壓力

最大0.5兆帕。

過程連接

管端配件，Rc，NPT

測量精度

±5% 滿量程

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