工具顯微鏡（以下簡稱工顯）是種可用影象法、軸切法以及干涉法按平面直角坐標(biāo)、坐標(biāo)和圓柱坐標(biāo)能地測量長度、角度及各種復(fù)雜的幾何形狀的常用光學(xué)與機(jī)械相結(jié)合的測量計(jì)量儀器。它的物鏡配有倍物鏡、三倍物鏡和五倍物鏡;目鏡配有測角目鏡、螺蚊輪廓目鏡、圓弧輪廓目鏡等,這些在使用中配用的物鏡和目鏡其放大率都須符合相關(guān)技術(shù)要求。
本文主要介紹工顯主顯微鏡放大倍數(shù)和讀數(shù)裝置放大倍數(shù)以及縱、橫向讀數(shù)顯微鏡視差的調(diào)修。 按照計(jì)量檢定規(guī)程JJG56 2000!工具顯微鏡∀的要求,主顯微鏡放大倍數(shù)的正確性和讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的正確性在*檢定和后續(xù)檢定中都是檢項(xiàng)目,經(jīng)檢定不合格的儀器應(yīng)調(diào)修。
工顯種類很多,主顯微鏡放大倍數(shù)的調(diào)修,各種類型的工具顯微鏡基本相同;讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修,各種類型的工顯從位置上和形式上有所不同。
以下以讀數(shù)顯微鏡形式為例,說明其調(diào)修方法供參考。
1??工顯主微鏡放大倍數(shù)的調(diào)修
根據(jù)工具顯微鏡檢定規(guī)程,工顯#主顯微鏡放大倍數(shù)的正確性∃的檢定方法如下:
在主顯微鏡上安裝測角目鏡檢定時(shí),分別裝上各種物鏡。刻度尺放置在玻璃工作臺(tái)上。升降主顯微鏡臂架,使在主顯微鏡視場內(nèi)見到清晰的刻度尺刻線影像。調(diào)整工作臺(tái),使刻度尺平行于縱向滑板的移動(dòng)方向,轉(zhuǎn)動(dòng)測角目鏡,使測角目鏡的示值于零位。
移動(dòng)縱向滑板,使刻度尺的零線與測角目鏡中相距遠(yuǎn)的兩條刻線中的條刻線對準(zhǔn),然后觀察另?xiàng)l刻線與刻度尺上相應(yīng)的刻線是否重合,若不重合時(shí),則從縱向讀數(shù)裝置中讀出其偏差??（??m）。主顯微鏡放大倍數(shù)誤差按?? =??/1000L%計(jì)算求得,式中:L為檢定時(shí)所用刻度尺上兩條刻線的間距,mm。在顯微鏡上安裝輪廓目鏡檢定時(shí),其方法與上述相同。
主顯微放大倍數(shù)的正確性數(shù)值見表1。
表1??主顯微放大倍數(shù)的正確性數(shù)值表 目鏡類型 測角目鏡輪廓目鏡物鏡倍數(shù)1倍,1??5倍, 3倍5倍1倍,1??5倍, 3倍正確性 0??1% 0??15% 0??15% 如果在檢定中主顯微鏡的放大倍數(shù)不符合表1要求,則需調(diào)修。且在調(diào)修時(shí)須選擇個(gè)基準(zhǔn),根據(jù)儀器結(jié)構(gòu)可選擇測角目鏡和3倍物鏡;也可選擇輪廓目鏡和3倍物鏡。如選擇測角目鏡和3倍物鏡:當(dāng)用3倍物鏡時(shí),工作臺(tái)上刻尺間距為1??8mm的兩條刻線與測角目鏡米字線分劃板寬的兩條刻線不重合,情況如圖1a表示放大倍數(shù)大,光學(xué)筒長??則須減少;
調(diào)修主顯微鏡放大倍數(shù)的方法也適用于其他類型的工顯的主顯微 鏡。（如果測角目鏡放大率不符合要求時(shí),則調(diào)整米字線分劃板目鏡安裝基面的距離;若1倍、5倍物鏡放大率不符合要求時(shí),各自修正其墊圈。）
2??讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修
工顯#讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的正確性∃的檢定方法如下:先使微米刻度示值于零位,移動(dòng)滑板,使毫米刻度尺的1mm線與0??1mm刻度尺零線位置的螺旋線對準(zhǔn),然后觀看相鄰的條毫米刻線是否與螺旋線也對準(zhǔn)時(shí),轉(zhuǎn)動(dòng)螺旋線使其對準(zhǔn),并按微米刻度讀出其差值ri。這檢定應(yīng)少分布于毫米刻度尺5個(gè)不同位置上進(jìn)行。放大倍數(shù)誤差按!=∀ri/5式求得。根據(jù)!工具顯微鏡∀檢定規(guī)程3??7的要求,讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的正確性應(yīng)不大于0??5??m,如果超出規(guī)程要求則須調(diào)修。讀數(shù)裝置分縱、橫兩個(gè)方向。
（1）縱向讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修方法基本同主顯微鏡的調(diào)修方法,只是光學(xué)筒長??的修正量有差異,當(dāng)放大倍數(shù)誤差反映在數(shù)值上相差0??001mm時(shí),光學(xué)筒長修正量為0??05mm。調(diào)修位置示意圖見圖2。 旋下固定螺帽1,取下縱向讀數(shù)鏡管3以上可取部分,修正襯圈2,按照主顯微鏡的修正方法進(jìn)行修正,調(diào)整放大倍數(shù),使其符合技術(shù)要求。
（2）橫向讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修方法:當(dāng)橫向放大倍數(shù)需要調(diào)修時(shí),不需修正襯圈,而只須移動(dòng)1倍物鏡的軸向位置。這時(shí)須打開左側(cè)蓋板,見到內(nèi)部中間位置1倍物鏡結(jié)構(gòu)。調(diào)修時(shí)松開其固定螺帽,使1倍物鏡能沿光軸方向前后移動(dòng),改變目鏡與物鏡的相對距離,當(dāng)放大倍數(shù)符合技術(shù)要求時(shí),再固定螺帽。
3??讀數(shù)顯微鏡視差的調(diào)修
這里的視差是指玻璃毫米標(biāo)尺的刻線不能清晰地成像在讀數(shù)顯微鏡的分劃板上,因此只有改變相關(guān)距離,才能視差,這也是我們平常對工顯調(diào)修須重視的項(xiàng)內(nèi)容。
（1）縱向讀數(shù)顯微鏡的視差調(diào)修 時(shí),應(yīng)先移動(dòng)縱向滑座,如觀察到#0∃#200mm∃整個(gè)行程的視差均模糊,這是由于相對位置走動(dòng)而造成的,這時(shí)松開讀數(shù)顯微鏡（可照圖2）下面的緊固螺帽2,轉(zhuǎn)動(dòng)物鏡3,使刻尺像清晰,重新緊固螺帽2。如果#0∃位置清晰,#200mm∃位置模糊或#200mm∃位置清晰而#0∃位置模糊,這是由于毫米刻尺安裝基面與縱向滑板移動(dòng)平面不平行而造成,則須修正毫米刻尺的安裝基面,直平行,能視差。
（2）橫向讀數(shù)顯微鏡的視差的調(diào)修,同理應(yīng)先移動(dòng)橫向滑座,如觀察到#0∃#100mm∃整個(gè)行程的視差均模糊,處理情況類上。如#0∃位置清 晰, #100mm∃位置模糊或#100mm∃位置清晰#0∃位置模糊,說明毫米刻尺與滑座移動(dòng)平面不平行,這時(shí)須取下刻尺保護(hù)罩,調(diào)整刻尺兩端處的調(diào)節(jié)螺釘（上下各兩只）,直平行,可以視差。 縱、橫向讀數(shù)顯微鏡的視差的調(diào)修中如果再出現(xiàn)整個(gè)行程的視差均模糊,可重復(fù)前述調(diào)修方法,直毫米刻尺平行清晰。 調(diào)修后的工顯須重新檢定,儀器應(yīng)符合JJG56 2000工具顯微鏡檢定規(guī)程要求。
