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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> MA3000-重慶光電儀器/大平臺工業(yè)顯微鏡
所在地:重慶
貨物所在地:上海上海市
更新時(shí)間:2024/10/14 21:00:07
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詳細(xì)描述:
儀器適用范圍:
伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng),反射式暗場和偏光系統(tǒng),使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)場合。
儀器特性:
1 l200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺
2 l視場數(shù)∮22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
3 l落射光明場、暗場及偏光可快速轉(zhuǎn)換
4 l機(jī)架經(jīng)計(jì)算機(jī)《有限元》分析處理,有高穩(wěn)定性及抗振性
5 l軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導(dǎo)軌,使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性
6 l采用人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計(jì)理念,調(diào)焦手輪前置,使之操作舒適。
高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng),確保儀器在對各試樣檢驗(yàn)時(shí)均能獲得良好的成像質(zhì)量。
無限遠(yuǎn)校正像差長距平場消色差物鏡
MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數(shù) 22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡
在反射照明光路中,明場、暗場和偏光可快速轉(zhuǎn)換
MA3000配有明場和暗場共用的物鏡,只要拉動拉桿,即可明場暗場轉(zhuǎn)換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉(zhuǎn)換,操作十分方便。
采用完善的柯拉照明系統(tǒng)
MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng),在整個(gè)視場內(nèi)照明均勻。
上海坤肯生物化工有限公司 - 主營產(chǎn)品: 液氮罐,MK3酶標(biāo)儀,泰來華頓,MVE,ATCC
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