納米薄膜的定義：納米薄膜是指由尺寸為納米數(shù)量級(jí)的組件鑲嵌于基體所形成的薄膜材料，它兼具傳統(tǒng)復(fù)合材料和現(xiàn)代納米材料二者的*性，它具有納米材料的特殊結(jié)構(gòu)，即晶粒和晶界都都屬于納米尺寸數(shù)量級(jí)。

典型的納米薄膜應(yīng)該是以納米粒子或原子團(tuán)簇為基質(zhì)的薄膜體，或者薄膜的厚度為納米尺寸數(shù)量級(jí)。

目前對(duì)薄膜的研究很多集中在納米復(fù)合薄膜上，它們具有廣泛的應(yīng)用前景，可分為納米復(fù)合功能薄膜、納米復(fù)合結(jié)構(gòu)薄膜、LB薄膜、巨磁阻顆粒薄膜材料等都是納米薄膜材料。而以層狀化合物剝離成納米片材料再以LBL法組裝成納米薄膜更是吸了眾多的科學(xué)家。

納米材料氧化鈮薄膜的特性

氧化鈮薄膜由于*的物理和化學(xué)性質(zhì)被廣泛地用于光學(xué)干涉濾波器、電化色薄膜和氣體傳感器中。

它光學(xué)波導(dǎo)損耗小，對(duì)紫外有較強(qiáng)的吸收，可作紫外敏感材料的保護(hù)膜，是一種具有優(yōu)異光學(xué)性能的材料。它也是性能優(yōu)良的電致變色材料，它的電致變色性能可與獲得廣泛研究的WO₃的性能相媲美，而且氧化鈮與氧化鎳也能組成性能匹配的互補(bǔ)性電致變色玻璃。

氧化鈮薄膜高折射率、大光學(xué)帶隙、高化學(xué)穩(wěn)定性和抗腐蝕性等性能使得其被廣泛的運(yùn)用于生產(chǎn)生活中。

目前制備氧化鈮薄膜的方法主要有電子束蒸發(fā)、離子束反應(yīng)濺射法、反應(yīng)磁控濺射法和溶膠凝膠法等。不同的沉積方法和制備過(guò)程參數(shù)對(duì)制備薄膜的結(jié)構(gòu)、形貌和光學(xué)質(zhì)量等有很大影響。

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