氦離子氣相色譜儀高純氣體電子氣微量雜質(zhì)分析儀

GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-9280氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化（PDHID）檢測器；采用普瑞公司擁有專業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體及解決方案。

GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀成為行業(yè)內(nèi)專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級的雜質(zhì)的分析。

氦離子氣相色譜儀高純氣體電子氣微量雜質(zhì)分析儀

依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn):
1、高純氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 8979-2008《高純氮》

GB/T 14599-2008《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》

GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》

GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-1995《氪氣》

GB/T 5828-1995《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》

GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》

2、電子氣標(biāo)準(zhǔn)  

氦離子化氣相色譜儀
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》

GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》

GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》

GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 高純氨》

GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》
GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體》

GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》

GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》

GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》

GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀

產(chǎn)品的特點(diǎn):
◆ 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應(yīng)用氣體分離專用色譜柱分離預(yù)切再分離技術(shù)
◆ 采用可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭
◆ 核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器
◆ 成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀

PDHID氦離子化檢測器

多柱箱系統(tǒng) ：可以根據(jù)分析的需要設(shè)置不同的柱箱溫度，以滿足樣品分離的需要

中心切割與反吹系統(tǒng):
吹掃十通閥1只;吹掃六通閥3只. VALCO /普瑞 1套

配備4個帶吹掃保護(hù)氣路的閥：一次進(jìn)樣，

無需更換色譜柱即可完成對氫、氧、氮、氬、氦、氪、氙、

二氧化碳等多種樣品中痕量雜質(zhì)的分析。

氧吸附及 還原系統(tǒng) 普瑞 1套 含401氧吸附柱及氫氣還原氣路

色譜柱: Hayesep Q ; Hayesep R ; MS 5A * 3 支 普瑞 3根 可分離樣品中的H2、O2、N2、CO、CO2、CH4等雜質(zhì)
CO防拖尾處理技術(shù)

載氣純化器:
HP-2 VALCO 1臺  雜質(zhì)含量≤10ppb
載氣過濾器 VALCO 1個 2μm孔徑
樣品過濾器 VALCO 1個 20μm孔徑
標(biāo)準(zhǔn)氣體  1套  含:H2,O2,Ar,N2,CO,CH4,CO2
高純氦氣:40L 1瓶 自備 / 純度不低于99.999%
高純氫氣:40L 1瓶 自備 / 分析高純氧時做為還原氣使用
高純氮?dú)?40L 1瓶 自備 / 作為自動閥的驅(qū)動氣使用
無死體積專用
取樣閥帶吹掃 普瑞 4個取樣時防止空氣滲入，帶放空結(jié)構(gòu)設(shè)計
載氣專用兩級
不銹鋼減壓閥 HORO 1個  HORO兩級減壓穩(wěn)流

高純氣專用色譜工作站 普瑞 1套  自動控制切割、反吹、進(jìn)樣等過程；并實現(xiàn)對色譜主機(jī)的操作控制

PDHID對部分雜質(zhì)的檢測限（ppb）

雜質(zhì)種類