電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）具備測(cè)定納克/ 升（ng/L，PPT）甚至更低濃度元素含量的能力，是測(cè)量痕量及超痕量金屬的技術(shù)。然而，常規(guī)的測(cè)定條件下，氬、氧、氫離子會(huì)與酸基體相結(jié)合，對(duì)待測(cè)元素產(chǎn)生多原子離子干擾。
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