NexION 2000S ICP-MS采用PerkinElmer的UCT技術(shù)(通用池技術(shù)),進一步強化DRC (動態(tài)反應(yīng)池)功能,在與應(yīng)用冷等離子體、有機物分析方面存在局限的三重四極桿ICP-MS (QQQ ICP-MS)相比有明顯優(yōu)勢,不僅能檢測金屬元素,還能檢測非金屬元素。對受到氬氣(Ar)干擾的元素,三重四極桿ICP-MS (QQQ ICP-MS)采用冷等離子體來躲避干擾,但采用冷等離子體會存在因等離子體的能量過低而難以使有機樣品中的金屬成分充分離子化、有機物介質(zhì)分解不*容易污染等缺點,從而導(dǎo)致分析結(jié)果低于實際值及長時間的分析值可信性問題。相反，在所有元素的分析中僅使用熱等離子體的PerkinElmer的UCT-ICP-MS技術(shù)能穩(wěn)定地分析有機物,得出可信的分析結(jié)果。

 

    本應(yīng)用的目的是檢驗NexION 2000S對在半導(dǎo)體工序中廣泛用于清除PR (光刻膠)工序后殘留的PR有機物的高純度NMP (N-甲基-2-吡咯烷酮)溶劑中所含的磷(Phosphorous)、硫(Sulfur)及硅(Silicon)的檢測能力。