在半導(dǎo)體行業(yè)，氣態(tài)加工材料已用于干法清洗、干法刻蝕、化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)等流程，但由于樣品制備困難和分析不準(zhǔn)確等原因，其分析受到了限制。傳統(tǒng)的氣態(tài)材料分析方法，一種是通過(guò)空氣采樣器鼓泡法(Impinger Bubbling) ,使用酸性氣體或超純水來(lái)吸收和溶解氣體樣品中的目標(biāo)雜質(zhì)；另一種是通過(guò)預(yù)處理,使用ICP-MS對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行量化。預(yù)處理方法包括:在使用粒子過(guò)濾器收集粒子之后，對(duì)收集到的粒子進(jìn)行酸解。然而,由于各種各樣的原因，例如雜質(zhì)捕獲引起的時(shí)間問(wèn)題,收集過(guò)程中遇到的外部污染,以及各種金屬對(duì)不同的酸有不同的溶解度,這兩種方法在分析結(jié)果可重現(xiàn)性方面均有局限性。

 

    本文中介紹了一種新的分析方法，不對(duì)氣體樣品進(jìn)行前處理，使用全氟聚合物膜實(shí)現(xiàn)目標(biāo)氣體向氬氣的置換，直接進(jìn)樣到ICP-MS，直接分析其中的金屬雜質(zhì)。