東莞市大中儀器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第16年

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涂層測厚儀使用中經(jīng)常遇到的問題和解決方法

時(shí)間:2011/7/19閱讀:1414
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有些剛剛接觸我們儀器的用戶朋友,在使用儀器的過程中總會(huì)遇到這樣或那樣的問題。在這里我們以涂層測厚儀為例給大家作個(gè)簡要的講解。
1.為什么儀器有時(shí)測量不準(zhǔn)確?
   這是一個(gè)比較籠統(tǒng)的問題。因?yàn)榫蛢x器不準(zhǔn)的原因來說是多種多樣的。單對(duì)涂層測厚儀來說,主要有下面幾種原因引起測量不準(zhǔn)確。
 (1)強(qiáng)磁場的干擾。我們曾做過一個(gè)簡單實(shí)驗(yàn),當(dāng)儀器在1萬V左右的電磁場附近工作時(shí),測量會(huì)受到嚴(yán)重的干擾。如果離電磁場非常近時(shí)還有可能會(huì)發(fā)生死機(jī)現(xiàn)象。
 (2)人為因素。這中情況經(jīng)常會(huì)發(fā)生在新用戶的身上。涂層測厚儀之所以能夠測量到微米級(jí)就因?yàn)樗軌虿扇〈磐康奈⑿∽兓?,并把它轉(zhuǎn)化成為數(shù)字信號(hào)。在使用儀器測量過程中如果用戶對(duì)本儀器不熟悉就可能使探頭偏離被測機(jī)體,使磁通量發(fā)生變化造成錯(cuò)誤測量。所以建議用戶朋友初次使用本儀器時(shí),要先掌握好測量方法。探頭的放置方式對(duì)測量有很大影響,在測量中應(yīng)使探頭與試樣表面保持垂直。并且探頭的放置時(shí)間不宜過長,以免造成基體本身磁場的干擾。
  (3)在系統(tǒng)矯正時(shí)沒有選擇合適的基體?;wzui小平面為7mm,zui小厚度為0.2mm,低于此臨界條件測量是不可靠的。
 (4)附著物質(zhì)的影響。本儀器對(duì)那些妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質(zhì)敏感。因此必須清除附著物質(zhì),以保證探頭與覆蓋層表面直接接觸。在進(jìn)行系統(tǒng)矯正時(shí),選擇的基體的表面也必須是裸露的、光滑的。
  (5)儀器發(fā)生故障。此時(shí)可以和技術(shù)人員交流或者返廠維修。

2.測量過程中,為什么有時(shí)候測量數(shù)據(jù)會(huì)出現(xiàn)明顯偏差?
   測量過程當(dāng)中由于探頭放置方式不正確或者外界干擾因素的影響可能會(huì)造成測量數(shù)據(jù)明顯偏大。這時(shí)可以按住CAL鍵把該數(shù)據(jù)清除以免進(jìn)入數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)中去。

3.如何系統(tǒng)校準(zhǔn)?
   校準(zhǔn)的方法、種類,這是新用戶經(jīng)常會(huì)遇到的問題。系統(tǒng)校準(zhǔn)、零點(diǎn)校準(zhǔn)還有兩點(diǎn)校準(zhǔn)其實(shí)都已經(jīng)在說明書上寫到了,用戶只需仔細(xì)閱讀就可以了。需要注意的是:在校準(zhǔn)鐵基時(shí)是多測量幾次以防止錯(cuò)誤操作;系統(tǒng)校準(zhǔn)的樣片要按照從小到大的順序進(jìn)行。如果個(gè)別標(biāo)準(zhǔn)片丟失可以找與其數(shù)值相近的樣片代替。

4.如何選擇合適的儀器型號(hào)?
   選擇什么型號(hào)的儀器,要根據(jù)用戶測量物體的厚度來定。一般來說測量1200um以下的物體時(shí)選擇MC-2000A型,對(duì)0~1200um的厚度來說該型號(hào)已經(jīng)達(dá)到2%~3%的度,而且對(duì)100um以下的厚度值它也能夠很好的確保測量精度。如果測量物體厚度在1200~5000um,建議選擇MC-2000C型測厚儀。更厚的話就要選擇MC-2000D增強(qiáng)型測厚儀。

5.有時(shí)開機(jī)出現(xiàn)干擾是什么原因?
    開機(jī)后儀器屏幕出現(xiàn)測量狀態(tài)箭頭不能再次進(jìn)行測量,就說明儀器受到了干擾。主要有兩個(gè)原因:
  (1)開機(jī)時(shí)探頭離鐵基太近,因?yàn)殍F基磁場的影響而受到了干擾。
  (2)沒插好探頭或者探頭線有損傷。
 

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