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微量氧分析儀為檢驗監(jiān)控高純度制程氣體中的微量含氧，以確保制程氣體的純度，避免管道因泄漏破損而滲入大氣中的氧氣破壞制程品質、增進制程良率，并且依各制程對氣體管路含氧量之要求，進行必要之測試設備。適用于氮氣、氫氣、氬氣等還原性氣體中微量氧的偵測。
下圖為微DST-N微量氧分析儀功能接口
| 序號 | 符號 | 描述 |
| 1 | Reset | 設備重置或者控制 |
| 2 | SD Card | SD 卡端口 |
| 3 | RJ 45 USB | 電纜端口和EE調整端口 |
| 4 | Alarm | 報警標志輸出端口 |
| 5 | RS232 RS485 | RS232和RS485輸出端口 |
| 6 | DC24V 4-20mA | 電源端口和4-20mA端口 |
| 7 | Air in | 氣體采樣輸入端口 |
| 8 | Air out | 氣體輸出端口 |
DST-N微量氧分析儀功能強大不僅可以與計算機連接，更配有兩種常用接口，而且?guī)D卡存儲數據。可以跟4-20mA輸入控制器相連接，可以遠程查看數據。同時本儀器還配備報警輸出端口，通過此端口可以實現報警、自動化控制。儀器自身帶采樣泵，可便攜亦可在線檢測。用戶界面更加智能，采用的是4.3” TFT液晶顯示屏，讓人機交互界面更人性化，可視化。使用彩色亮光顯示檢測出來的微量氧濃度，并有指針指示。如下圖：
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