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光學(xué)輪廓儀-臺階高度測量、表面粗糙度測量
Profilm3D光學(xué)輪廓儀-臺階高度測量、表面粗糙度測量儀使用了進(jìn)的垂直掃描干涉(VSI)結(jié)合高精度相移干涉(PSI)測量.以前所未見的價(jià)格使得表面形貌研究進(jìn)入次納米等級。通過光學(xué)掃描儀掃描表面輪廓可進(jìn)行臺階高度測量，表面粗糙度測量。
n干涉測量法是研究同一光源發(fā)出的多個光束的波陣面之間的干涉。干涉計(jì)是一種把從一個光源發(fā)出的單束光分成兩束，然后又重新合并以產(chǎn)生干涉圖案的光學(xué)裝置
VSI: 當(dāng)掃描移動時，被測試的零件的不同區(qū)域被聚焦(零光程差的地方在干涉條紋之間具有大的對比度)。通過對大對比點(diǎn)的確認(rèn)和知道馬達(dá)的位置，就可以重新構(gòu)造表面形狀。
PSI：PZT (在加電壓時，壓電陶瓷會改變它的尺寸)以 l / 8的步長來推動鏡子。 由于光從鏡子反射，在兩束光之間產(chǎn)生一個 l/4的相位漂移,l/4相位漂移相當(dāng)于90度或p/2的相位漂移。
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