測量顯微鏡,采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。工作臺除作X、Y坐標的移動外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),亦可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量。
測量顯微鏡可分:(1)光學測量顯微鏡、(2)數(shù)碼測量顯微鏡兩類。
1.光學測量
采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。
優(yōu)點:工作臺除作X、Y坐標的移動外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。
2.數(shù)碼測量
一種將將顯微鏡看到的實物圖像通過數(shù)模轉(zhuǎn)換,使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計算機上的顯微鏡設備。適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便移動的物件的觀察測量。廣泛地適用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。
優(yōu)點:小巧便攜,只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像,進行準確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用,已成為一種可靠實用的精密測量儀器。
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