主動式減震臺在AFM/SPM顯微鏡中的應用

消除AFM噪聲的有效隔振方案

在生物工程，材料科學和納米技術等高靈敏度儀器設備如掃描探針顯微鏡（SPMs）已被廣泛的使用，即使是微量的振動噪聲也會影響到顯微鏡圖像和數(shù)據(jù)的質(zhì)量。在掃描探針顯微鏡中有不同的探頭，收集信息可以采取多種形式，包括地形，元素組成，導電性等。為了準確的測量和記錄數(shù)據(jù)，儀器必須在探針，臺面和探測器之間保持一個恰當穩(wěn)定的距離。因為這些技術儀器都對環(huán)境噪聲非常敏感，SPMs通常需要某種形式的振動隔離。因為各種各樣的影響因素，比如環(huán)境的噪聲（聲，振動，電磁噪聲）和熱波動，應用領域和所使用的設備類型無論是主動還是被動隔振系統(tǒng)，都可以用于消除AFM的噪聲。

掃描探針顯微鏡（SPM）

  掃描探針顯微鏡（SPM）通過光柵探針在樣品表面獲取信息。SPM有各種各樣的探針，因而可以采取多種形式的信息收集形貌、元素組成、電導率等等取決于探頭的類型。

掃描隧道顯微鏡（STM）

  掃描隧道顯微鏡（STM）是一種由SPM發(fā)展出來的顯微鏡。STM與IBM在1981年發(fā)明。STM通過一個自動化的（通常是鎢）來與樣品取得近場聯(lián)系，然后施加一個偏置電壓是產(chǎn)生隧道電流。當掃描樣品表面時，產(chǎn)生的電平通過與參考電平比較，產(chǎn)生樣品表面形貌。STM成像能夠在室外空氣或者超高真空室進行（UHV-STM）。STM使得研究者能夠觀察出清晰度水平。他們現(xiàn)在能夠觀察并操控單個原子。毫不夸張的說STM的發(fā)展*的改變了納米技術領域研究。不僅提供新功能，同時建立了掃描探針顯微鏡（SPM）的基礎概念，STM成為顯微鏡的一個新領域的基礎。

原子力顯微鏡（AFM）

  原子力顯微鏡是廣泛運用SPM技術的顯微鏡。AFM通過在樣品表面移動一個超精細的機械探針，來進行運作。在靠近樣品表面出于樣品表面上的原子力相互作用，而不是直接觸碰樣品。連接到一個懸臂梁，在樣品表面探測時進行偏轉(zhuǎn)。一束激光安設在懸臂的背面，并進入到一個探測器，該探測器收集信息，由此產(chǎn)生的圖像提供了一個很好的視圖上的樣品的超高分辨率的表面形貌。除了上面所述的普通的聯(lián)系模式，AFM發(fā)展除了更多的操作模式，包括費接觸模式，竊聽模式，和力調(diào)制模式。商業(yè)原子力顯微鏡在1988年出售。從那時候起，原子力顯微鏡逐漸發(fā)展成為遺留的納米技術研究顯微鏡。AFM的口碑越來越突出得益于他簡單的操作的能力，手機高度的納米尺度的表面數(shù)據(jù)。AFM現(xiàn)在普遍應用在大學科學部門和大公司的研發(fā)部門。AFM的應用還在不斷的發(fā)展，例如使用原子力顯微鏡技術來診斷和研究癌細胞。

主動和隔振系統(tǒng)在AFM應用中的表現(xiàn)：

儀器：多種模式的數(shù)字AFM，放置于冷凍膛內(nèi)。

樣品：云母片上的DNA

描述：圖像的是放置在TS-150主動隔振系統(tǒng)上的AFM。拍照到一半的時候，主動隔振電源關掉，剩下內(nèi)置的被動彈簧作為隔振源。從下半圖中可以清楚的看到垂直波紋，這就是環(huán)境振動對于AFM成像的影響。這可以明顯的比較出主動隔振和被動隔振之間的差別。見下圖：

主動隔振在Asylum MFP-3D原子力顯微鏡中的應用實例效果：