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臭氧發(fā)生器氧氣源系統(tǒng)：是指一套提供符合臭氧產(chǎn)生要求的原料氧氣的設(shè)備，將一定度的氧氣送入臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧，一般有現(xiàn)場制氧和液態(tài)氧兩種方式。
現(xiàn)場制氧：現(xiàn)場制氧即變壓吸附制氧設(shè)備，是以空氣為原料，以沸石分子篩為吸附劑，利用變壓吸附原理，即加壓吸附，常壓（PSA）或真空（VSA或VPSA）解吸兩種方式制取氧氣的設(shè)備。在一定的壓力下，利用空氣中氧、氮在沸石分子篩表面的吸附量的差異，即沸石分子篩對氮的擴(kuò)散吸附遠(yuǎn)大于氧，在一定時(shí)間內(nèi)氮在吸附相富集，氧在氣體相富集，從而實(shí)現(xiàn)氧氮分離。
液態(tài)氧系統(tǒng)是隨著制氧技術(shù)的不斷提高以及氧氣作為工業(yè)產(chǎn)品被大規(guī)模使用，經(jīng)低溫深冷空分裝置分離出的液態(tài)氧被作為商品直接從生產(chǎn)廠家購入，使用廠家將液氧汽化處理后送入臭氧發(fā)生器的裝置，包括液氧儲槽、汽化器、減壓裝置、熱交換器等裝置。
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