東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

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    １．在G1?G2接觸子間放入微動臺。

　２．先移動G1接觸子、控制部指示値為行程量的一半時

（－210～－220μｍ）固定接觸子。

　３．然后移動G2接觸子、控制部指示値為０μｍ時固定接觸子。

?。矗优_朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ)、確認控制部 指示値。

   ５．微動臺至進給原位置（零位置）、確認控制部 指示値為0μm〔注１〕。

?。叮优_在進給方向進給100μm(＋100μm)、確認控制部指示値。

   ７．微動臺回到原位置（零位置）、確認控制部指示値為0μm〔注１〕。

?。福?/span>0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値不超過1.5μm。

   ９．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値的差超過1.5μm時需再調整、重復[１．]～[８．]的作業(yè)。不超過時進行接下來的檢查。

〔注１〕 微動臺在原位置（零位置）時、控制部指示値不為0μm時、需調整接觸子重復〔４．〕～〔６．〕的作業(yè)。

　※ 為減少演算誤差需進行絞合線單體感度測量（別紙）。