Profilm3D 3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)介紹
它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng),可以無接觸地測(cè)量包括臺(tái)階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測(cè)量小樣品,涵蓋了測(cè)量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測(cè)量模式,包括適合高精度測(cè)量微米級(jí)臺(tái)階和形狀的垂直掃描干涉測(cè)量法 (WLI) 和適合測(cè)量納米級(jí)形狀和粗糙度的相移干涉測(cè)量法 (PSI)。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備,包括用于放大物鏡的左輪鏡頭、自動(dòng)載物臺(tái)以及便于操作、分析和管理測(cè)量數(shù)據(jù)的軟件。
主要特點(diǎn)
低價(jià)!
在配備所有必要功能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)低價(jià)納米級(jí)高分辨率
采用相移干涉法實(shí)現(xiàn)高分辨率全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
XY自動(dòng)載物臺(tái),手動(dòng)左輪,自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié),自動(dòng)對(duì)焦功能緊湊的外殼
主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計(jì)。配備 WLI 和 PSI 兩種測(cè)量模式 一臺(tái)設(shè)備即可
測(cè)量臺(tái)階測(cè)量和粗糙度測(cè)量操作
簡(jiǎn)單 基本操作只是簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)操作符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量符合
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO25178可擴(kuò)展性
多種物鏡選擇,數(shù)據(jù)拼接功能
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體 | 晶圓凸塊、CMP焊盤等 |
---|---|
醫(yī)療領(lǐng)域 | 注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等 |
安裝板 | 銅線、凸點(diǎn)、透鏡等 |
測(cè)量規(guī)格
垂直掃描白光干涉測(cè)量法 (WLI) | 相移干涉測(cè)量 (PSI) | |
---|---|---|
測(cè)量范圍 | 50 納米 – 10 毫米 | 0 – 3 微米 |
準(zhǔn)確性 | 0.7% | —— |
再現(xiàn)性 | 0.1% | —— |
反射范圍 | 0.05% – 100% | 0.05% – 100% |
設(shè)備規(guī)格
XY自動(dòng)載物臺(tái) | 100mm x 100mm |
---|---|
Z軸驅(qū)動(dòng)范圍 | 100mm |
壓電驅(qū)動(dòng)范圍 | 500微米 |
掃描速度 | 12微米/秒 |
相機(jī) | 2592 x 1944(500 萬像素) |
體重 | 15公斤 |
物鏡規(guī)格
5次 | 10倍 | 20次 | 50次 | 百倍 | |
視野 | 4.0 x 3.4 毫米 | 2.0 x 1.7 毫米 | 1.0 x 0.85mm | 0.4 x 0.34mm | 0.2 x 0.17mm |
鏡頭分辨率 | 2.1微米 | 0.92微米 | 0.69 微米 | 0.5微米 | 0.4微米 |
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。