集成電路生產應關注超純水水質

電子產品生產中純水系統(tǒng)應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，結合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情況，通過技術經濟比較來選擇。純水系統(tǒng)的原水水質因各地區(qū)、城市的水源不同相差很大，有的城市以河水為水源，即使是河水，其河水的源頭和沿途流經地區(qū)的地質、地貌不同，水質也是不同的;有的城市以井水為水源，井的深度不同、地域不 同、地質構造不同均會千差萬別;現(xiàn)在不少城市的水源包括河水、湖水、井水等，有的城市各個區(qū)、段供水水質也不相同。

所以純水系統(tǒng)的選擇，根據原水水質的不同，差異很大，是否選擇原水預處理，預處理設備的種類、規(guī)模都與原水水質有關。因此電子工廠潔凈廠房的純水系統(tǒng)的選擇應根據原水水質和電子產品生產工藝對水質的要求，結合純水系統(tǒng)的產水量以及當時、當?shù)氐募兯O備、材料供應等情況，綜合進行技術經濟比較確定。

在超大規(guī)模集成電路的超純水水質中，優(yōu)先關注的水質指標為：電阻率、微粒、TOC(總有機硅)、硅、堿金屬、堿土金屬、重金屬、溶解氧等。水溶液之所以導電，是因為水中各種溶解鹽都是以離子態(tài)存在的，在集成電路芯片制造過程中，與硅片接觸的水所含離子越多，對產品良率影響就越大。 電阻率反映了超純水中離子的含量，超純水的電阻率越高，其純度也就越高。一般來講，在25℃時，理論純水的電阻率是18.25MΩ.cm。

微粒數(shù)也是衡量超純水純度的指標。在集成電路光刻工序的清洗用水中如果含有不純物質或微粒，將導致柵氧化膜厚度不均，產品圖形發(fā)生缺陷，耐壓性能變壞，一般以圖形尺寸的1/10為粒徑的評價對象。超純水中的微量有機物會影響柵氧化膜的絕緣耐壓性能，堿金屬、堿土金屬、重金屬則使產品結晶不良，柵氧化膜的絕緣耐壓性能變壞，而超純水中的溶解氧將促使硅片表面的氧化膜提前自然形成，有報道稱甚至溶在水中的氮氣也對清洗效果帶來影響。在超純水中，細菌的影響與TOC、微?；鞠嗤?要是因為在系統(tǒng)里的繁殖使它成為有機物和微粒的發(fā)源地。