探究經(jīng)等離子處理后的PDMS實現(xiàn)不可逆鍵合的*工藝參數(shù)

探究經(jīng)等離子處理后的PDMS實現(xiàn)不可逆鍵合的*工藝參數(shù)。

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設計科學的試驗方法

在工藝優(yōu)化中，應用最多的試驗設計方法為正交設計。等離子處理法涉及的主要工藝參數(shù)有三個：射頻功率，空氣流量，改性時間。不同的參數(shù)組合，會產(chǎn)生不同的改性效果，其主要體現(xiàn)在鍵合面積百分比大小，所以以鍵合面積百分比為指標。為找出三種參數(shù)最佳組合，需要做大量的試驗，為了減少成本，提高效率，需要采取正確試驗方法。正交試驗在全面樣品試驗點中挑出具有代表性的樣品點進行試驗，這些點具有“均勻分散，齊整可比”的特點，其*的代表性使正交試驗法成為分式析因設計的主要方法，是一種快速、經(jīng)濟、高效率的試驗方法。

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各參數(shù)對鍵合強度的影響

保持空氣流量與改性時間不變只變動射頻功率時，PDMS／PDMS的鍵合強度隨著射頻功率增大而逐漸增大，表明射頻功率越大，等離子處理對PDMS表面改性作用增強。保持射頻功率與改性時間不變只變動空氣流量時，PDMS／PDMs的鍵合強度隨著空氣流量的增大而逐漸增大，表明空氣流量的增大對鍵合強度有促進作用。

保持射頻功率與空氣流量不變只變動改性時間，PDMS／PDMS的鍵合強度并沒有隨著改性時間的增大而增大，而是先增大后減小，可見改性時間在一定范圍內(nèi)可以增大鍵合強度，但超過某一臨界值，促進作用減小，甚至有副作用。

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工藝參數(shù)分析

對于等離子法處理時，射頻功率越高越好，改性時間越久越好，中低頻對表面的改性效果較差，高頻對表面的改性效果較好。