半導(dǎo)體晶片和玻璃面板傳送過(guò)程中的振動(dòng)狀態(tài)測(cè)量

1. 1. 測(cè)量條件

• 使用的測(cè)量?jī)x器

• 高速3通道無(wú)線(xiàn)振動(dòng)記錄儀MVP-RF3-HC

• 測(cè)量對(duì)象

• LCD用玻璃面板

• 尺寸

• 約 1.5m x 1.9m x 1.8mm

• 測(cè)量位置

• 將記錄儀固定在玻璃基板中心附近

• 固定方法

• 膠布膠帶

• 運(yùn)輸方向

• Z軸方向（面板垂直方向）

2. 2. 加速度波形（振動(dòng)波形）測(cè)量數(shù)據(jù)

我們測(cè)量了從晶片移動(dòng)開(kāi)始到靜止的加速度數(shù)據(jù)。
高速3通道無(wú)線(xiàn)振動(dòng)記錄儀內(nèi)置3軸加速度計(jì)，可同時(shí)測(cè)量3個(gè)方向的加速度值。

<最大加速度>

<討論>

1. 在該載體中，開(kāi)始移動(dòng)時(shí)和停止時(shí)的加速度（振動(dòng)）較大。

2. 運(yùn)輸過(guò)程中加速度小。

3. 施加于運(yùn)動(dòng)的加速度（振動(dòng)）較大。

4. 施加加速度（振動(dòng)）的方向在Z軸方向（板厚方向）上最大。

5. 最大加速度（振動(dòng)）約為9.8m/sec^2（約1.0G）

3. 3. FFT分析

<FFT分析條件>

將上述“加速度波形數(shù)據(jù)”中的“開(kāi)始移動(dòng)”時(shí)的數(shù)據(jù)（0～1秒）切出進(jìn)行分析。

<FFT分析結(jié)果>

<討論>

1. Z軸方向（板厚方向）的50Hz附近有光譜峰。
   → 是面板的固有振動(dòng)頻率嗎？

2. 如果設(shè)備運(yùn)行中存在50Hz附近的頻率成分，則極有可能會(huì)因?yàn)楣舱竦挠绊懚鴵p壞面板，推測(cè)成品率會(huì)下降。