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微石microstone無無線振動(dòng)數(shù)據(jù)記錄儀晶圓震動(dòng)儀晶圓振動(dòng)計(jì)

來源：深圳市安川測量儀器有限公司   2022年03月01日 14:28  

microstone微石無無線振動(dòng)數(shù)據(jù)記錄儀距離100m實(shí)時(shí)測量

無線通訊距離“100m”！可以實(shí)時(shí)測量、記錄測量、根據(jù)情況進(jìn)行測量！

因?yàn)樗?920MHz 頻段的無線，所以您可以測量而無需擔(dān)心障礙物！

實(shí)時(shí)測量中最快 2msec (500Hz) 和測井測量中最快 0.05msec (20kHz) 的采樣是可能的！??！

小巧便攜！內(nèi)置內(nèi)存也安裝在W45 x D45 x H18 mm的手掌大??！

支持測量時(shí)觸發(fā)輸入！可以將正在測量的點(diǎn)牢固地保存為數(shù)據(jù)。

通過附件輕松安裝通過使用使用強(qiáng)釹磁鐵的附件，可以輕松地將其固定到機(jī)器上。（選項(xiàng)）

它只有手掌大小，可以安裝在任何地方！與傳統(tǒng)傳感器尺寸相同

應(yīng)用示例

  1. 皮帶輸送機(jī)等運(yùn)輸過程中的沖擊測量，運(yùn)輸缺陷的識別

    • 只需將其放在皮帶輸送機(jī)上，讓它保持原樣流動(dòng)，您就可以檢查產(chǎn)生沖擊的重要點(diǎn)。

  2. 通過對機(jī)器人手臂和旋轉(zhuǎn)部件等運(yùn)動(dòng)部件的振動(dòng)測量和振動(dòng)水平判斷進(jìn)行出貨判斷

    • 因?yàn)樗菬o線的，所以可以測量移動(dòng)部件。您不必考慮接線的影響。

  3. 對于從未到達(dá)的天花板和腹地

    • 由于無線通信距離可達(dá) 100 m，因此可以在過去無法測量的地方進(jìn)行測量。

  4. 通過泵和電機(jī)等驅(qū)動(dòng)部件的振動(dòng)測量進(jìn)行疲勞判斷，預(yù)防性維護(hù)

    • 通過定期測量驅(qū)動(dòng)單元的振動(dòng)，可以在機(jī)器損壞之前知道維護(hù)的時(shí)機(jī)。

MVP-RF6L 手掌大小

半導(dǎo)體晶片和玻璃面板傳送過程中的振動(dòng)狀態(tài)測量

2021 年 5 月 24 日

1. 1. 測量條件

  • 使用的測量儀器

  • 高速3通道無線振動(dòng)記錄儀MVP-RF3-HC

  • 測量對象

  • LCD用玻璃面板

  • 尺寸

  • 約 1.5m x 1.9m x 1.8mm

  • 測量位置

  • 將記錄儀固定在玻璃基板中心附近

  • 固定方法

  • 膠布膠帶

  • 運(yùn)輸方向

  • Z軸方向（面板垂直方向）

2. 2. 加速度波形（振動(dòng)波形）測量數(shù)據(jù)

我們測量了從晶片移動(dòng)開始到靜止的加速度數(shù)據(jù)。
高速3通道無線振動(dòng)記錄儀內(nèi)置3軸加速度計(jì)，可同時(shí)測量3個(gè)方向的加速度值。

<最大加速度>

<討論>

  1. 在該載體中，開始移動(dòng)時(shí)和停止時(shí)的加速度（振動(dòng)）較大。

  2. 運(yùn)輸過程中加速度小。

  3. 施加于運(yùn)動(dòng)的加速度（振動(dòng)）較大。

  4. 施加加速度（振動(dòng)）的方向在Z軸方向（板厚方向）上最大。

  5. 最大加速度（振動(dòng)）約為9.8m/sec^2（約1.0G）

3. 3. FFT分析

<FFT分析條件>

將上述“加速度波形數(shù)據(jù)”中的“開始移動(dòng)”時(shí)的數(shù)據(jù)（0～1秒）切出進(jìn)行分析。

<FFT分析結(jié)果>

<討論>

  1. Z軸方向（板厚方向）的50Hz附近有光譜峰。
    → 是面板的固有振動(dòng)頻率嗎？

  2. 如果設(shè)備運(yùn)行中存在50Hz附近的頻率成分，則極有可能會(huì)因?yàn)楣舱竦挠绊懚鴵p壞面板，推測成品率會(huì)下降。


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