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日本satovac真空設(shè)備運(yùn)用實(shí)例
日本satovac真空設(shè)備運(yùn)用實(shí)例
1.首先
在電子設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備等中使用的精密設(shè)備部件中，組裝后附著在表面的物質(zhì)有時(shí)會(huì)氣化并產(chǎn)生各種影響。認(rèn)為這是因?yàn)榱慵庸ず笥眉兯逑春透稍锉砻鏉駶?rùn)的液層蒸發(fā)，但表面上的殘留分子氣化了，盡管數(shù)量很少，產(chǎn)生了不利影響。 . 氣化和去除附著物是提高清洗后零件表面清潔度的一種方法。通過(guò)將處理溫度提高到比干燥期間更多，粘附的物質(zhì)被活化并降低環(huán)境壓力，從而物質(zhì)可以容易地從表面分離。真空烘烤裝置實(shí)現(xiàn)了這一系列操作。因此，由于要求表面清潔度，處理溫度高，壓力低。這是清洗不能*通過(guò)清洗處理的重油的有效方法，如熱處理后的零件。
一般用于水性或有機(jī)溶劑型金屬加工零件的清洗、干燥后、重油的表面清洗，但最近也用于樹(shù)脂類產(chǎn)品的加工。
我們有制造和交付許多真空烘烤設(shè)備的記錄，我們將介紹它們的型號(hào)和特點(diǎn)。
2.型號(hào)及設(shè)備配置
如表1所示，我們提供基于方形容器的真空烘烤設(shè)備，適用于廣泛的溫度和壓力范圍。在外形尺寸方面，上限是拖車可以運(yùn)輸?shù)某叽纭?/span>型號(hào)按壓力范圍（達(dá)到真空度）分為中真空范圍的DY型和高真空范圍的DH型。按溫度分類時(shí)為DY型、加熱溫度700℃以下的DH型、加熱溫度800℃～2200℃的VHF型。VHF 型具有碳或金屬（鉬、鎢）加熱器結(jié)構(gòu)，與 DY 和 DH 型護(hù)套加熱器不同。
(1) 溫度和壓力設(shè)定
設(shè)備的加熱溫度和極限壓力（真空度）由被加工部件表面和被烘烤物質(zhì)所需的清潔度（氣體產(chǎn)生量）確定。加熱溫度越高，粘附物質(zhì)的表面剝離越活躍，處理時(shí)間越短。如果加工溫度受構(gòu)件耐熱溫度的限制，則極限壓力越低，加工時(shí)間越短。由于通常使用的加熱器結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)上限溫度為700°C，但考慮到成本，一般為500°C以下。即使可以在500°C或更高的溫度下制造，成本也會(huì)很高，因?yàn)榧訜崞鹘Y(jié)構(gòu)會(huì)發(fā)生變化。加熱器容量由升溫至設(shè)計(jì)溫度的速率決定。當(dāng)通過(guò)PID控制升溫時(shí)，從室溫到500°C的升溫時(shí)間約為2.0到2.5小時(shí)，即使在室溫到300°C，也約為1.5到2.0小時(shí)。
（2）真空排氣系統(tǒng)的設(shè)定溫度
為300～500℃時(shí)，極限壓力（真空度）由沉積物的容許氣體產(chǎn)生量（殘留氣體量）決定。至于排氣系統(tǒng)，組合取決于油箱內(nèi)達(dá)到的壓力，油旋轉(zhuǎn)泵是否足夠，如表1所示，或者是否與渦輪分子泵組合使用。
如果要避免油蒸氣的混合，以保持油箱內(nèi)的清潔度，請(qǐng)使用將輔助排氣泵與干式泵相結(jié)合和高真空排氣與渦輪分子泵相結(jié)合的粗抽系統(tǒng)。此外，如果罐內(nèi)的清潔條件要求嚴(yán)格，將使用低溫泵進(jìn)行高真空排氣。在成本方面，僅靠油回轉(zhuǎn)泵才能實(shí)現(xiàn)罐內(nèi)壓力的范圍是便宜的。
(3) 冷卻方式
將罐內(nèi)加熱并在設(shè)定溫度下保持規(guī)定時(shí)間，冷卻至取出溫度，真空冷卻，N2氣置換，N2氣流，N2氣從視點(diǎn)節(jié)拍時(shí)間或加工材料質(zhì)量。您將不得不在強(qiáng)制循環(huán)冷卻之間進(jìn)行選擇。強(qiáng)制循環(huán)冷卻冷卻時(shí)間短，但成本高。真空冷卻是一種廉價(jià)的方法，但冷卻時(shí)間長(zhǎng)。冷卻時(shí)的 N2 氣導(dǎo)入時(shí)間（溫度），如 N2 氣置換和 N2 氣流量，可以在保持設(shè)定溫度后的任何時(shí)間順序排列，但從加工材料質(zhì)量的角度來(lái)看，這將作為用戶規(guī)范決定。 ..
三、總結(jié)
如前所述，為了提高表面清潔度，如何氣化去除表面附著物是一種方法，可以提到真空烘烤。
我們已經(jīng)將支持溫度和壓力水平的模型商業(yè)化，但最近的趨勢(shì)是根據(jù)用戶規(guī)格將它們作為符合使用目的的定制產(chǎn)品提供，而不是按照目錄中列出的規(guī)格進(jìn)行制造。確定烘烤規(guī)格（溫度、壓力）被認(rèn)為是非常困難的，但由于我們有一個(gè)測(cè)試裝置（溫度~500°C，壓力x 10-4 Pa order），我們進(jìn)行了樣品測(cè)試。建議規(guī)格由決定。
表1 型號(hào)及主要規(guī)格（真空烘烤）
| 模型 | 溫度 | 罐內(nèi)壓力 | 罐內(nèi)尺寸 | 加熱器 | 真空排氣系統(tǒng) | 冷卻方式 | 控制系統(tǒng) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DY | 150℃～700℃ | × 10Pa 訂購(gòu) | W400 x H400 x D500 ~ W2000 x H1600 x D3500 | 罐內(nèi)加熱器面板 ：種子加熱器 （4 或 6 面） ，Procon PID 控制 | 油回轉(zhuǎn)泵 油回轉(zhuǎn)泵 +機(jī)械增壓 | ?真空自然冷卻 ?N2置換冷卻 ?N2流動(dòng)冷卻 ?N2循環(huán)冷卻 （帶水冷冷卻器和風(fēng)扇） | 自動(dòng)運(yùn)行 異常檢測(cè) 聯(lián)鎖 操作面 圖形面板 |
| ≒ 3Pa | |||||||
| DH | 150℃～700℃ | × 10 -4 Pa 階 | W400 x H400 x D600 ~ W1600 x H1600 x D1800 | 罐內(nèi)加熱器面板 ：種子加熱器 （4 或 6 面） ，Procon PID 控制 | 1）油旋轉(zhuǎn)泵 +渦輪分子泵 2）干泵 +渦輪分子泵 3）干泵 +低溫泵 | ||
| 甚高頻 | 800℃～2200℃ | × 10Pa 訂購(gòu) | φ800×L1000 ～ φ1600×L1600 （水冷夾套型） | 1) 碳加熱器 2) 金屬加熱器 （MO：鉬 W：鎢） /Procon PID 控制 | 油回轉(zhuǎn)泵 | ?真空自然冷卻 ?氬氣流冷卻 | 自動(dòng)運(yùn)行 異常檢測(cè) 聯(lián)鎖 操作面 圖形面板 |
| ≒ 3Pa | 油回轉(zhuǎn)泵 +機(jī)械增壓器 | ||||||
| × 10 -3 Pa 階 | 油旋轉(zhuǎn)泵 +油擴(kuò)散泵 | ||||||
| × 10 -4 Pa 階 | 油回轉(zhuǎn)泵 +渦輪分子泵 |
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