PVDF壓電薄膜制備及、加工及測試一體化平臺設備購置預算明細表

1

PVDF薄膜極化裝置

PZT-JH30/3

塊體+薄膜+高溫+大尺寸探頭

1. 任意夾持樣品尺寸為3-40mm片方型或是圓型試樣、是壓電薄膜試樣

2、提供標準極化薄膜樣品：3片

3、提供測試樣品薄膜：3片

4、工作電源：AC220V  50/60HZ

5、額定功率：2.0kw

6、壓電材料極化方式：真空，空氣，氣氛，硅油等10多種極化方式

7、總電流：10mA

8、每路切斷電流：0.5mA

9、定時：1-99min±5％任意設定

10、加熱元件 ：優(yōu)質(zhì)電阻絲

11、1次測試試樣數(shù)量:可加載1-3片試樣

12、額定溫度 ：≤180℃

13、溫度 ：300℃

14、控溫方式 ：智能化恒溫控制

15、樣片 ：樣品尺寸為3-40mm片方型或是圓型試樣或壓電薄膜試樣

16、外形尺寸 ： 寬872高466深360（mm)

17、能夠配套ZJ-3和ZJ-6壓電測試儀進行測試使用

精科智創(chuàng)

可以測試不同類型的薄膜及壓電材料，而且可以測試任意大小的樣品，配合多種測試探頭

2

準靜態(tài)壓電常數(shù)測試儀

ZJ-3/ZJ-4

壓電常數(shù)d_33，

壓電電壓常數(shù)g_33，壓電應變常數(shù)d_31，

壓電應變常數(shù)d15等

 d33測量范圍：

 ×1擋：10到2000pC/N，20 至4000pC/N，可以升級到10000PC/N.
  ×0.1擋： 1到200pC/N，2 至400pC/N。

可以配套PZT-JH10/4/8/12型壓電極化裝置使用

可以配套ZJ-D33-YP15壓電壓片機使用
  誤差：×1擋：±2%±1個數(shù)字，當d33在100到4000pC/N；

計量標定標準樣尺寸：18mm*0.8mm，老化時間：2-3年（評判壓電測試儀準確性能的重要依據(jù)之一）

提供壓電薄膜標準片：20*20MM

電壓保護：放電保護功能  
  ±5%±1個數(shù)字，當d33在10到200pC/N；
  ×0.1擋：±2%±1個數(shù)字，(當d33在10到200pC/N)
  ±5%±1個數(shù)字，當d33在10到20pC/N。
  分辨率：   ×1擋：1 pC/N；×0.1擋：0.1   pC/N。
  尺寸：施力裝置：Φ110×140mm；儀器本體：240×200×80mm。
  重量：施力裝置：約4公斤；   
  儀器本體：2公斤。
  電源：220伏，50赫，20瓦。

精科智創(chuàng)

可以測試不同的壓電常數(shù)d_33，

壓電電壓常數(shù)g_33，壓電應變常數(shù)d_31，

壓電應變常數(shù)d15等

3

壓電材料阻抗分析儀

JKZC-YDZK03A

相對介電常數(shù)ε/ε₀

機-電耦合系數(shù)（K₃₃）

主要技術(shù)參數(shù)：

1.測試頻率：20HZ-1MHZ

2. 測試電平:10mV～5V±（10%+10mV）

3. 輸出阻抗: 10Ω, 30Ω, 50Ω, 100Ω

4. 基本準確度: 0.1%

5. 顯示器: 320×240點陣圖形LCD顯示

6. 可測量22種阻抗參數(shù)組合7. 接口方式: RS232C或HANDLER

8、阻抗分析儀得到的主要參數(shù)，包括：諧振頻率Fs、反諧振頻率Fp、半功率點F1與 F2、導納Gmax、靜電容C0、動態(tài)電抗R1、動態(tài)電容C1、動態(tài)電感L1、自由電容CT、自由介電常數(shù)、機械品質(zhì)因素Qm、機電耦合系數(shù)Keff、Kp、K31、K33等，并可以繪制壓電器件的五種特性曲線（導納特性圖、阻抗特性圖、導納極坐標圖、阻抗極坐標圖、對數(shù)坐標圖）

8.電壓:AC-220V

9. 體積：高80mm＊寬205mm＊長230mm

10.重量 ：3KG

精科智創(chuàng)

（中科院聲學所）

還可以測試如下參數(shù)：諧振頻率Fs、反諧振頻率Fp、半功率點F1與 F2、導納Gmax、靜電容C0、動態(tài)電抗R1、動態(tài)電容C1、動態(tài)電感L1、自由電容CT、自由介電常數(shù)、機械品質(zhì)因素Qm、機電耦合系數(shù)Keff、Kp、K31、K33等，并可以繪制壓電器件的五種特性曲線（導納特性圖、阻抗特性圖、導納極坐標圖、阻抗極坐標圖、對數(shù)坐標圖）

4

熱釋電測試儀
  （室溫+國產(chǎn)儀表/進口儀表）

PRPM-1000

熱釋電系數(shù)（P）

1.溫度范圍：室溫

2.控溫方式：步進調(diào)控，步進式調(diào)控可以快速恒定溫區(qū)內(nèi)任一溫度點，

3.間隔測量：1.0 至 20.0℃/點，典型值 2.0℃/點，快速達到溫度狀態(tài)，

4.控溫精度：采用智能逼近時控溫，控溫精度 0.1℃，溫度漂移優(yōu)于±0.5℃內(nèi)，超調(diào)≤0.5℃，

5.樣品夾具：夾持雙面電極樣品，直徑小于 20mm（邊長小于 25mm），厚度小于 5mm，樣品夾具具備獨立倉，

6.通道數(shù)量：具備測量四個樣品位置，四線制全屏蔽通道，單根通道接口線纜超屏蔽線長度不超過50mm，集合總線長度不超過 300mm，

7.腔體模塊：強制風冷外殼溫度低溫 60℃，全屏蔽腔體，

8.數(shù)據(jù)接口：主機內(nèi)置三同軸   BNC 接口 1 個、接口后置，

9.表頭分辨率：五位半，

10.直流電壓范圍：10µV-200V，

11.直流電流范圍：10aA-21mA，

12.電荷范圍：10fC-2µC，

13.電阻范圍：10Ω-200TΩ，

精科智創(chuàng)

（中科院聲學所）

5

耐壓試驗儀

擊穿電場，極化電場

輸出

電壓：AC：0～10kV

DC：0～10kV

測試電流：AC:0～2/20mA

                :DC0～2/10mA

測試精度:±（5%+3個字）

測試時間：0.0s～999 0.0=連續(xù)測試

變壓器容量：200VA

精科智創(chuàng)

（中科院聲學所）精科智創(chuàng)

（中科院聲學所）

6

拉伸試驗機

LSY-1000

斷裂拉伸強度，彈性模量

試驗速度：1~500mm/min 
  試驗寬度：120mm 
  行 程：900mm 
  主機外形尺寸：420mm（L）×270mm（B）×1500mm（H） 
  環(huán)境要求：
  電源：～220 ±10% V / 50 Hz； 
  溫度10 °C -- 35 °C； 
  濕度30 % -- 85 %；
  主機凈重：90kg 

精科智創(chuàng)

（中科院聲學所）

7

薄膜電阻綜合測試測試儀

BMDZ-4

表面電阻，體電阻

電阻范圍：  1.0×10^2～ 2.0×10^14 Ω,     

分辨率0.01×10^3～ 0.01×10^14 Ω

電阻率范圍：  Kv×( 1.0×10^2～ 2.0×10^14) Ω-cm,  

分辨率0.01×10^3～ 0.01×10^14 Ω-m， K=1～1000，修正系數(shù)）

精度：±0.01

選配：可以配合ZJ-3/6型PVDF壓電測試儀進行薄膜D33系數(shù)測試

工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤20W

外形尺寸： W×H×L=40cm×15cm×35cm

重量：≤4kg

精科智創(chuàng)

（中科院聲學所）