氣浮運動臺介紹（一）

氣浮運動臺是有氣浮導(dǎo)軌構(gòu)成的精密運動臺。在常見的設(shè)備中，經(jīng)常看到一些運動裝置，按驅(qū)動方式分為步進電機、伺服旋轉(zhuǎn)電機、直線電機、音圈電機及壓電陶瓷電機等；按導(dǎo)軌導(dǎo)向分類為機械導(dǎo)軌（摩擦式）和氣浮導(dǎo)軌，其中光刻機用的磁懸浮也為非接觸式，但成本相當昂貴；按反饋形式分為開環(huán)、半閉環(huán)和閉環(huán)，步進電機為開環(huán)，伺服電機為半閉環(huán)，直線電機驅(qū)動并搭配光柵尺行程閉環(huán)反饋。

根據(jù)應(yīng)用，精度等級不同，所以選用不同的運動裝置。以下是大致介紹：

步進電機加精密絲桿驅(qū)動，機械導(dǎo)軌導(dǎo)向，為開環(huán)運動裝置，按脈沖的個數(shù)移動，100mm行程精度在50μm-100μm，應(yīng)用在低精度行業(yè)應(yīng)用。

伺服電機加精密絲桿驅(qū)動，機械導(dǎo)軌導(dǎo)向，為半閉環(huán)運動裝置（通過伺服電機后的原編碼器反饋，不能監(jiān)測工件移動的位置），精度在20-30μm。行業(yè)內(nèi)也可以移動工件的編碼加光柵尺做閉環(huán)反饋，精度能做到5-10μm，絲桿和聯(lián)軸器有反向間隙，所以精度做不高，同時絲桿的螺距，致使空載的速度在300mm/s以內(nèi)。增大絲桿螺距提升速度，但又犧牲精準度。

氣浮運動臺采用直驅(qū)電機（直線電機和直驅(qū)力矩電機）作為直接驅(qū)動方式，在行業(yè)得到了認可。電機的動子直接連接負載板,通過機械導(dǎo)軌導(dǎo)向，中間無任何傳動裝置，速度可高達2m/s，100mm行程精度在1-2μm，同時也可以搭配氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向，獲取更高的亞微米級別精度。