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電暈去污是利用高速活化電暈在高溫環(huán)境下與孔壁中的物質發(fā)生反應，電暈處理機維護保養(yǎng)達到去膠的效果，活化孔壁，引入親水性基團，便于后續(xù)PTH沉積。低溫電暈技術越來越多地應用于剛柔結合板。低溫電暈技術的發(fā)展和應用為微電子工業(yè)的產品質量提供了有力保障，促進了其產業(yè)化應用的發(fā)展。
電暈處理機的常見問題及解決方法
1、背電暈：對于厚度較薄的薄膜(<15μm)，在速度較快的情況下，薄膜背后有可能帶入空氣;此時薄膜背面的空氣會被電離，造成背電暈。
解決方法：考慮背輥改為驅動輥，必要時同時添加壓輥;有些印刷機由此建立一個牽引單元(增加一段張力控制)。
2、薄膜幅寬方向左右處理不均勻：原因在于電極的間隙不均勻，間隙較大的一側，電暈處理不到或偏弱。
解決方法：此時要調整和校準電極與背輥的間隙，正常間隙為1.5~2.0 mm 之間，超過2.0mm ，容易造成放電不足，處理不均勻。
3、電暈處理機發(fā)生器機柜過熱，原因有可能是風扇濾網堵塞，或風扇反轉。
解決方法： 需要定期清理風扇及濾網，保證發(fā)生器機柜通風。
4、臭氧味道大：原因是排放風機風量匹配不合適，或風機反轉，管道不暢。
解決方法：臭氧風機需要與電暈系統(tǒng)的功率匹配;安裝時確保風機接線正確，避免反轉;另外，要定期檢查風機及管路。如果管道接入RTO系統(tǒng)，要保證足夠的風量，避免排放流量不夠造成倒灌。
因此，定期清理電極架對保證電暈處理機的正常工作變得非常重要，尤其是在濕度大的季節(jié)。建議每1-2周檢測并清理一次電極，金屬電極可以采用毛刷清理，陶瓷電極及高壓端子可以用布蘸酒精清理，但避免用帶侵蝕性的溶劑清洗。
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