氣浮運動臺介紹（二）

下面我們會介紹瑞邦精控氣浮運動臺：

直驅(qū)電機的優(yōu)勢：

采用無鐵芯直驅(qū)電機，非常適合高精度的場所應用，根據(jù)負載、速度及加速度等要求計算電機的推力，控制器電流大小等，特點是：

1. 高動態(tài)性能；

2. 無齒槽效應；

3. 電流噪聲小。

氣浮運動臺是什么：

氣浮運動臺有直線運動和旋轉運動，是一種用氣浮導軌或氣浮軸承做支撐為導向的運動裝置。

氣浮直線臺的構成：

核心部件由氣浮導軌導向，直線電機質(zhì)心驅(qū)動、精密直線光柵尺閉環(huán)反饋及精密結構件組成，見下圖。

氣浮轉臺構成：

氣浮轉臺優(yōu)勢：

我們自研的氣浮轉臺，解決氣浮轉臺上應用難題，具有以下特點。

1. 定位精度1角秒內(nèi)（進口產(chǎn)品禁運且昂貴）；

2. 同步max軸向跳動10nm；

3. 回零精度精準；

4. 電動和手動測試跳動誤時是一致；

5. 解決氣浮軸承抱死的問題。

氣浮導軌或軸承的優(yōu)勢：

氣浮導軌基于空氣軸承的基本原理，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點，同時還具有誤差均化作用，來獲得較高的導向精度。氣浮導軌在測量設備、精密機械中得到了廣泛的應用。

氣浮導軌和軸承采用小孔節(jié)流的方式，我們對這種結構應用經(jīng)驗非常成熟，在市場上得到驗證，精度性能有保證，同時耗氣量小。

光柵尺閉環(huán)反饋：

非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設計，這種緊湊式結構設計，在有限的空間內(nèi)具有魯棒性和準確度，選取英國雷尼紹光柵尺，柵距為20μm，正余弦模擬量信號細分到5nm（電子分辨率）。氣浮轉臺選用雷尼紹圓光柵，材質(zhì)為不銹鋼，底面錐形結構，熱膨脹系數(shù)為15.5 ±0.5 μm/m/°C（20℃）。