氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)介紹（二）

下面我們會(huì)介紹瑞邦精控氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)：

直驅(qū)電機(jī)的優(yōu)勢(shì)：

采用無(wú)鐵芯直驅(qū)電機(jī)，非常適合高精度的場(chǎng)所應(yīng)用，根據(jù)負(fù)載、速度及加速度等要求計(jì)算電機(jī)的推力，控制器電流大小等，特點(diǎn)是：

1. 高動(dòng)態(tài)性能；

2. 無(wú)齒槽效應(yīng)；

3. 電流噪聲小。

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)是什么：

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)有直線運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，是一種用氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承做支撐為導(dǎo)向的運(yùn)動(dòng)裝置。

氣浮直線臺(tái)的構(gòu)成：

核心部件由氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向，直線電機(jī)質(zhì)心驅(qū)動(dòng)、精密直線光柵尺閉環(huán)反饋及精密結(jié)構(gòu)件組成，見(jiàn)下圖。

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)構(gòu)成：

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)優(yōu)勢(shì)：

我們自研的氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，解決氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)上應(yīng)用難題，具有以下特點(diǎn)。

1. 定位精度1角秒內(nèi)（進(jìn)口產(chǎn)品禁運(yùn)且昂貴）；

2. 同步max軸向跳動(dòng)10nm；

3. 回零精度精準(zhǔn)；

4. 電動(dòng)和手動(dòng)測(cè)試跳動(dòng)誤時(shí)是一致；

5. 解決氣浮軸承抱死的問(wèn)題。

氣浮導(dǎo)軌或軸承的優(yōu)勢(shì)：

氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無(wú)污染等特點(diǎn)，同時(shí)還具有誤差均化作用，來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量設(shè)備、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。

氣浮導(dǎo)軌和軸承采用小孔節(jié)流的方式，我們對(duì)這種結(jié)構(gòu)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)非常成熟，在市場(chǎng)上得到驗(yàn)證，精度性能有保證，同時(shí)耗氣量小。

光柵尺閉環(huán)反饋：

非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設(shè)計(jì)，這種緊湊式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在有限的空間內(nèi)具有魯棒性和準(zhǔn)確度，選取英國(guó)雷尼紹光柵尺，柵距為20μm，正余弦模擬量信號(hào)細(xì)分到5nm（電子分辨率）。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)選用雷尼紹圓光柵，材質(zhì)為不銹鋼，底面錐形結(jié)構(gòu)，熱膨脹系數(shù)為15.5 ±0.5 μm/m/°C（20℃）。