集成電路用氫氟酸 - 氫氟酸含量的測定

T/ICMtia PC007-2021 集成電路用氫氟酸

范圍
本文件規(guī)定了集成電路用氫氟酸的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存。
本文件適用于集成電路制造過程中使用的氫氟酸。
分子式：HF
相對分子質量：20.01(按2014年國際相對原子質量)。

要求
性狀
無色透明溶液，有揮發(fā)性，有刺激性氣味。
規(guī)格
集成電路用氫氟酸的規(guī)格分為：IC-1級、IC-2級和IC-3級。
技術要求
集成電路用氫氟酸的技術要求見表1。



注：1、可根據客戶需求定制特殊規(guī)格產品；2、1μg/L=1ppb=1000ppt，1mg/kg=1ppm。

試驗方法
含量的測定
試劑和材料
——氫氧化鈉溶液，1.00mol/L；
——帶蓋PE燒杯。
儀器
自動滴定儀。
樣品制備
用移液槍或吸量管移取約0.5g(精確至0.0001g)的樣品至預先裝有60g左右水的帶蓋的PE燒杯中。
測定
按照自動滴定儀操作規(guī)程打開儀器，待機器處于穩(wěn)定狀態(tài)時，在自動滴定電腦界面上登入，選擇方法及樣品質量等信息后點擊“開始”即可。分析結束后記錄數(shù)據。
取平行測定結果的算術平均值為測定結果，兩次平行測定結果的絕對差值不大于0.05%。


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